日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-J50 气动真空蝶阀 日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-J50 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI 美幸辉 BH‑J50 气动真空蝶阀 BH‑J50 是美幸辉 BH 系列标准型 50A/DN50 气动真空蝶阀,日本原装、洁净室组装,高真空通用型,超薄阀体 + 高导磁 …
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-J50 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-J50 气动真空蝶阀
BH:气动驱动蝶阀(Butterfly + Pneumatic)
J:标准型(Standard,C = 洁净型)
50:口径 50A(DN50)
全称:BH‑J50
口径:50A(DN50),兼容 JIS/ISO‑F/KF(NW50)/CF 法兰
压力范围:10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa(高真空~大气压)
驱动:齿轮齿条气动执行器,0.4~0.6 MPa 压缩空气
开度模式:0°(全闭)→45°(慢排)→90°(全开),两段开度标配
阀体材质:SUS304 不锈钢(低放气、耐蚀、高洁净)
密封:标准 FKM 氟橡胶 O 形圈;超高真空可选 Kalrez 全氟醚
泄漏率:
阀内:≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
轴封:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
温度:阀体 ≤150℃;执行器 ≤60℃
重量:约 6.5kg(超薄紧凑)
开关时间:4~6 秒(全开 / 全闭)
附件:微动开关(位置反馈)、机械指示、断气弹簧复位(常闭 / 常开可选)
超薄高导磁:阀体极薄、导电 / 导磁优异,防静电、低积尘,适配普通高真空 / 轻度洁净制程
两段排气安全高效:45° 慢排防冲尘 + 90° 快排提效率,单阀替代多阀,节省空间与成本
小体积大推力:小型气缸、开启推力加倍,行程末端气垫缓冲,启闭平稳静音、寿命≥100 万次
低颗粒低放气:洁净室组装,无金属滑动摩擦,低颗粒、低放气
任意安装:无方向限制,可水平 / 垂直 / 倾斜安装,适配紧凑管路
断气安全保护:标配弹簧复位,断气自动全闭 / 全开,保护腔体与真空系统
真空设备:中型真空腔、镀膜机主 / 辅阀、检漏仪、真空炉
半导体 / 电子:小型工艺腔、传输管路、泵组隔离阀 / 粗抽阀
科研真空:实验室真空系统、分析仪器、质谱仪
工业真空:包装机、脱气设备、冻干机、真空热处理中口径管路
BH‑J50(标准型):通用高真空、性价比高 → 适合工业真空 / 普通镀膜 / 科研
BH‑C50(洁净型):更高洁净、更低放气、 stricter 无尘组装 → 适合半导体 / 超高洁净制程
日本直供与交付
原装正品:日本工厂生产 + 洁净室组装测试,提供原厂合格证、原产地证明、材质 / 泄漏测试报告
交期:标准库存,实际交期以咨询为准
技术支持:提供选型、管路设计、气动回路配置、安装调试指导