日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-140 气动真空蝶阀 日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-140 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI 美幸辉 BH‑140 气动真空蝶阀 BH‑140 为美幸辉 BH 系列标准型 140A/DN140 气动真空蝶阀(常标注为 BH‑J140),日本原装、洁净室组装,中口径高真空主…
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-I40 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-I40 气动真空蝶阀
超薄面间 + 高流导:阀体厚度极薄,同口径中真空流导大、排气速度快。
双位排气(BH 独有):单阀实现 0°–45°(慢排) 与 90°(全开快排) 两段定位,无需旁路阀。
小气缸大推力 + 气垫缓冲:紧凑气缸,开启推力加倍;行程末端气垫缓冲,低冲击、长寿命。
高真空零泄漏:全关泄漏量 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s,轴封 ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。
任意安装 + 洁净制造:无方向限制;无尘室组装检测,适配半导体、锂电、医药等高洁净场景。
口径:40A(DN40,约 φ48.3)
法兰标准:JIS、ISO、KF (NW)、CF(可定制)
阀体材质:SUS304(气体接触部)
密封件:氟橡胶 O 形圈(耐温、耐腐蚀)
工作真空:10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa(低 / 高真空通用)
工作气压:0.4–0.6 MPaG(标准工厂气源)
驱动方式:齿轮齿条气动执行器,开关可靠、响应快
位置反馈:标配微动开关,全开 / 全关信号输出
尺寸(约):面间厚~30mm;法兰外径~110mm
半导体 / 面板:沉积、刻蚀、溅射设备真空隔离
新能源:锂电真空烤箱、注液机、光伏层压机
医药 / 食品:冻干机、灭菌设备、真空包装机
科研:实验室高真空管路、镀膜设备、真空炉
原装进口:MIYUKI 日本工厂直发,正品保障、可提供原产地证明