日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-163 气动真空蝶阀 日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-163 气动真空蝶阀气动蝶阀BH系列特色:阀门开启可按两个位置操作:0~45和90(全开), 单个气门支持慢排气和高速排气 除了标准的全闭气和全开气缸外, 配备两级气缸,允许你自由调节气门开…
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-I63 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 BH-I63 气动真空蝶阀
气动蝶阀BH系列特色:
阀门开启可按两个位置操作:0°~45°和90°(全开), 单个气门支持慢排气和高速排气
除了标准的全闭气和全开气缸外, 配备两级气缸,允许你自由调节气门开口角度,范围在0~45度范围内。 这是结构
尽管体积紧凑,气缸在打开时推力翻倍(可靠运行),并在行程端提供空气缓冲(减震)
阀体完全关闭时,阀体完全密封
骑乘姿势和方向无限制
面间距极窄,导电性极佳
组装和检查在无尘室进行
超薄面间 + 高电导:阀体厚度极薄,流导大、排气速度快,真空性能优异。
双位排气控制(BH 独有):单阀实现 0°–45°(慢排) 与 90°(全开快排) 两段定位,满足不同排气速率需求。
小气缸大推力 + 气垫缓冲:紧凑气缸,开启推力加倍;行程末端气垫缓冲,低冲击、长寿命。
高真空零泄漏:全关泄漏量 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s,轴封泄漏 ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。
任意安装 + 洁净室制造:无安装方向限制;无尘室组装检测,适配半导体、锂电、医药等高洁净场景。
口径:63A(DN63,约 φ76)
法兰标准:JIS、ISO、KF (NW)、CF(可定制)
阀体材质:SUS304(气体接触部)
密封件:氟橡胶 O 形圈(耐温、耐腐蚀)
工作真空:10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa(低 / 高真空通用)
工作气压:0.4–0.6 MPaG(标准工厂气源)
驱动方式:齿轮齿条气动执行器,开关可靠、响应快
位置反馈:标配微动开关,全开 / 全关信号输出
尺寸(约):面间厚~35mm;法兰外径~140mm
半导体 / 面板:沉积、刻蚀、溅射设备真空隔离
新能源:锂电真空烤箱、注液机、光伏层压机
医药 / 食品:冻干机、灭菌设备、真空包装机
科研:实验室高真空管路、镀膜设备、真空炉
原装进口:MIYUKI 日本工厂直发,正品保障、可提供原产地证明