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日本直供 MIYUKI美幸辉 G-I160 空气驱动门阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 G-I160 空气驱动门阀
空气驱动门阀G系列执行器的位置设计巧妙,缩短了整体形状。它在抵抗背压的密封性能方面表现出色。
空气驱动门阀G系列特色:
尽管体积紧凑,气缸闭合时推力加倍(密封可靠),并在行程端提供空气缓冲(吸震)。
阀体密封机构采用均匀间距的球压方式,在反压下具有极佳的可靠性。
不锈钢外壳通过真空吹风机对抛光板材制造,消除内部表面的死角,减少气体排放。
组装和检查在无尘室进行。
小型大推力:气缸小,关闭时推力加倍,密封更可靠;行程末端带气垫缓冲,减少冲击噪音。
抗背压密封强:等间距球压式密封,反向压力下仍高密封。
高真空、低泄漏:
工作压力:1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁶ Pa(高真空)
泄漏率:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s(内外密封)
洁净室组装:无尘室装配、检测,低颗粒、适合半导体 / 制药。
安装灵活:可任意方向安装,排气特性好。
半导体 / 液晶真空制程
真空镀膜、离子注入
化工、医药洁净管路
科研高真空系统
排气 / 抽气主管路切断
| 法兰式 | JIS・ISO・CF・KF(西北) |
|---|---|
| 呼铃直径 | 40A ~ 500A |
| 泄漏 量(壳体)( 阀座) | |
| 应用领域 | 105~10-6爸 |
| 气体接触材料 | SUS304 |
| 轴密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 传动系统 | 空气驱动 |
| 工作气压 | 0.4~0.6 MPaG |
| 开合指示器 | 配备微动开关(用于开关,用于各位置检测) |
*也可以制造特殊规格。
*本规范可能因改进目的而无通知地更改。