日本直供 MIYUKI美幸辉 CF34 小型紧凑型风箱阀

产品目录

日本直供 MIYUKI美幸辉 CF34 小型紧凑型风箱阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 CF34 小型紧凑型风箱阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 CF34 小型紧凑型风箱阀日本直供 MIYUKI美幸辉 CF34 小型紧凑型风箱阀日本直供 MIYUKI 美幸辉 CF34 小型紧凑型波纹管阀（风箱阀）型号：SG‑V3（CF34），气动单作用常闭，超高真空（UHV）用金属波纹管密封阀。 核心参数品牌：MIYUKI（株…

产品详情

Product Detail

日本直供  MIYUKI美幸辉    CF34   小型紧凑型风箱阀

日本直供  MIYUKI美幸辉    CF34   小型紧凑型风箱阀

日本直供 MIYUKI 美幸辉 CF34 小型紧凑型波纹管阀（风箱阀）

型号：SG‑V3（CF34），气动单作用常闭，超高真空（UHV）用金属波纹管密封阀。

 核心参数

  • 品牌：MIYUKI（株式会社美幸辉，日本真空阀门专业厂）

  • 通径 / 法兰：CF34（ICF34） 金属密封固定法兰

  • 阀体材质：SUS304/SUS316L 不锈钢

  • 密封结构：金属波纹管轴封 + 金属刀口密封（CF 法兰）

  • 压力范围：常压（1×10⁵ Pa）～ 1×10⁻⁷ Pa（超高真空 UHV）

  • 泄漏率：≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（全金属密封，无橡胶污染）

  • 驱动方式：气动（单作用常闭，失气自闭）

  • 工作气压：0.4～0.6 MPaG

  • 使用温度：≤ 150℃（全金属耐高温）

  • 导通能力：约 20 L/s（CF34 口径）

  • 重量：约 0.8～0.9 kg（紧凑型）

  • 选项：可加装磁感应开关（阀位信号反馈）、手动操作旋钮

 关键特点（CF34 与 NW16/NW25 区别）

CF 金属法兰：刀口 + 铜垫圈密封，无橡胶 O 形圈，适配10⁻⁷ Pa 超高真空与高温 bake（150℃）。

全金属波纹管密封：轴封无摩擦、无放气、无碳氢污染，半导体 / 科研 UHV 系统首选。

紧凑型 UHV 设计：体积小、重量轻，节省束线 / 腔体安装空间。

常闭安全型：断气自动关，保护超高真空腔体与精密设备。

长寿命：波纹管疲劳寿命 ≥ 10⁶ 次，维护极少。

 典型应用

  • 超高真空（UHV）束线、腔体隔离、真空泵隔离阀

  • 半导体 / LED：分子束外延（MBE）、溅射、蒸镀设备

  • 科研：表面科学、真空分析仪器、粒子物理实验

  • 镀膜：电子枪、离子源、高精度真空室隔离

 同系列口径（SG 小型波纹管阀）

  • SG‑V1：NW16（真空计接口）

  • SG‑V2：NW25（通用高真空）

  • SG‑V3：CF34（超高真空 UHV）

 与 SE‑N 系列（O 形圈直阀）对比

  • SE‑N 系列：铝合金、O 形圈、高真空（10⁻⁵ Pa）、经济型、普通管路

  • SG‑V3（CF34）：不锈钢、全金属波纹管 + CF 法兰、超高真空（10⁻⁷ Pa）、高洁净、UHV 精密系统

地理位置

产品名称小型风箱阀
接头类型NW16、NW25、CF34、Swagelok1/2、VCR8-公®®
操作方法空气驱动（单动，常闭）
泄漏量1×10-10Pa·M3/s或更短
应用领域105 ~ 10-7爸
气体接触材料SUS304及SUS316L
阀体密封氟橡胶O型圈
轴密封模压风箱
工作气压0.4 ~ 0.6 MPa G
耐热温度低于150°C
质量0.5公斤（SG-N1N1）

*也可以制造特殊规格。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。