日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-C40 真空L型阀门

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日本直供  MIYUKI美幸辉     AE-C40    真空L型阀门

日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-C40 真空L型阀门

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日本直供  MIYUKI美幸辉     AE-C40    真空L型阀门

日本直供  MIYUKI美幸辉     AE-C40    真空L型阀门

日本直供 MIYUKI 美幸辉 AE‑C40 真空 L 型阀门

AE‑C40:CF40(ISO‑CF 高真空法兰)、气动 FKM‑O 型圈轴封、L 型 90° 高真空角阀,面向高真空 / 洁净工况,CF 法兰金属密封、适配严苛真空环境,属经济型高真空方案。


AE‑C40 vs AB‑C40(同口径 CF 对比)

对比项AE‑C40(O 型圈密封)AB‑C40(波纹管密封)
轴封方式FKM O 型圈316L 金属波纹管
泄漏率≤1×10⁻⁸ Pa·m³/s≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
真空等级高真空(10⁻⁵ Pa)超高真空(10⁻⁶ Pa)
烘烤能力≤150℃,不可高温烘烤≤200℃,可在线烘烤
放气水平中等极低(高纯 / UHV 首选)
价格区间经济型中高端
适用场景通用高真空、洁净 / 无油工况、频繁拆装高纯工艺、半导体、镀膜、UHV、高温烘烤

典型应用

  • 高真空 / 洁净系统:真空镀膜机、溅射设备、分子泵机组

  • 科研:质谱仪、电子显微镜、真空腔体隔离、实验装置

  • 半导体:非烘烤型工艺腔、辅助真空管路、洁净真空系统

  • 工业:真空炉、热处理设备、包装机械、高真空排气支路

地理位置

产品名称气动L型阀
操作方法空气驱动
系列ABAE
口径16A~250A
法兰KF(西北)·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A
单/双电兼容
气缸
80A~250A
多动
手柄――――――
服役周期16A
~50A
5×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s)1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州)105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压(MPa G)0.4 ~ 0.6
材料:主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关选项
耐热工作温度主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)
产品名称手动L型阀门
操作方法手动(旋转手柄)
系列ABRAER
口径16A~250A
法兰KF(西北)·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A
――――――
气缸
80A~250A
――――――
手柄铝合金
服役周期16A
~50A
5×1051×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s)1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州)105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压(MPa G)――――――
材料:主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关――――――
耐热工作温度主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)

* 对于空气切换电磁阀,单作用时使用3孔接口,双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格(标准法兰、直径、耐压等)。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。