日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-J50 真空L型阀门日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-J50 真空L型阀门日本直供 MIYUKI 美幸辉 AE‑J50 真空 L 型阀门AE‑J50:JIS 50A 日标法兰、FKM 氟橡胶 O 型圈轴封、L 型 90高真空角阀,主打日标配管、大口径、经济型、易维护、非烘…
日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-J50 真空L型阀门
日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-J50 真空L型阀门
| 对比项 | AE‑J50(O 型圈密封) | AB‑J50(波纹管密封) |
|---|---|---|
| 轴封方式 | FKM 氟橡胶 O 型圈 | 316L 金属波纹管 |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁸ Pa·m³/s | ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| 真空等级 | 高真空(10⁻⁵ Pa) | 超高真空(10⁻⁶ Pa) |
| 烘烤能力 | ≤150℃,不可烘烤 | ≤200℃,可在线烘烤 |
| 放气水平 | 中等 | 极低(高纯 / UHV 首选) |
| 价格区间 | 经济型 | 中高端 |
| 适用场景 | 日系大流量高真空、低成本、非烘烤 | 日系高纯、半导体、UHV、高温烘烤 |
日系大流量高真空设备:大型真空镀膜机(非 UHV)、大口径溅射设备、分子泵机组(高真空段)
科研:大型真空实验腔体、大流量真空管路隔离、非烘烤系统
半导体:日系非高纯工艺腔、大口径通用真空管路、洁净非烘烤系统
工业:大型真空炉(≤150℃)、热处理设备、日系大流量高真空排气支路