日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-C63 真空L型阀门

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日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-C63 真空L型阀门

日本直供 MIYUKI美幸辉 AE-C63 真空L型阀门

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日本直供  MIYUKI美幸辉     AE-C63     真空L型阀门

日本直供  MIYUKI美幸辉     AE-C63     真空L型阀门

MIYUKI 美幸辉 AE‑C63 真空 L 型阀门（日本直供）

AE‑C63 是日本美幸辉（MIYUKI）AE 系列气动真空 L 型阀，口径 63A（KF63），O 形圈轴封，高洁净、低泄漏，适配半导体 / 镀膜 / 科研真空系统。


主要特点

高洁净低泄漏：全不锈钢 + 氟橡胶密封，满足高真空 / 半导体工艺要求。

气动稳定可靠：单 / 双作用可选，弹簧复位，开关响应快。

标准 KF 法兰：KF63 接口，真空系统通用，拆装便捷。

结构紧凑：L 型设计，节省安装空间，管路布局灵活。

日本原装制造：MIYUKI 原厂，高耐久性，适合连续工况。

典型应用

  • 半导体 / 液晶：真空腔体隔离、工艺气体切换

  • 真空镀膜：抽气 / 排气控制、真空室压力隔离

  • 科研实验室：高真空系统、真空管路通断控制

  • 光伏 / 光学：真空环境隔离、洁净气体管路