日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-C160 真空L型阀门

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日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-C160 真空L型阀门

日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-C160 真空L型阀门

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日本直供  MIYUKI美幸辉     AB-C160          真空L型阀门

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AB-C160 VS AE-C160（同口径 CF160 对比）

型号轴封结构漏率适用工况
AB-C160波纹管密封≤1×10−10 Pa⋅m3/s超高真空、半导体、科研腔体、洁净制程、需烘烤设备
AE-C160O 型圈轴封≤1×10−8 Pa⋅m3/s常规高真空、普通镀膜、经济型量产设备

同规格法兰分类（AB160 全系列）

AB-C160：CF160 刀口法兰→超高真空可烘烤腔体

AB-N160：KF160 快装法兰→频繁拆装通用高真空管路

AB-J160：JIS160 日标法兰→日系原装进口真空炉、镀膜机替换备件

产品优势

波纹管无穿透密封：杜绝轴杆 O 圈磨损碎屑掉落腔体，洁净度满足半导体、光学镀膜严苛要求

CF 刀口法兰：适配实验室、科研超高真空腔体，高温除气放气量极低

日本原厂 MIYUKI：内部流道优化、通导量大、抽气效率高，进口设备原厂替换标配

应用领域

半导体刻蚀 / 镀膜设备、科研超高真空腔体、OLED 蒸镀机、光学涂层设备、进口日系超高真空热处理炉、航天真空测试舱