日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-J100 真空L型阀门

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日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-J100 真空L型阀门日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-J100 真空L型阀门AB-J100 vs AE-J100 对比型号密封结构漏率适用特点AB-J100316L 金属波纹管密封≤110−10Pa⋅m3/s无尘、高纯制程，半导体 / 蒸镀优选，维保周期长AE-J100FKM-O 圈动密封≤1…

日本直供 MIYUKI美幸辉 AB-J100 真空L型阀门

AB-J100 vs AE-J100 对比

型号	密封结构	漏率	适用特点
AB-J100	316L 金属波纹管密封	≤1×10−10Pa⋅m3/s	无尘、高纯制程，半导体 / 蒸镀优选，维保周期长
AE-J100	FKM-O 圈动密封	≤1×10−8Pa⋅m3/s	性价比高、密封圈可单独更换，工业烧结、热处理通用

应用领域

半导体沉积 / 刻蚀设备、OLED 光学蒸镀机、日系进口真空钎焊炉、锂电高纯烧结腔体、科研超高真空管路切断阀株式会社美幸輝

地理位置

产品名称	气动L型阀
操作方法	空气驱动
系列	AB	AE
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	单/双电兼容
气缸 80A~250A	多动
手柄	――――――
服役周期16A ~50A	5×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	0.4 ~ 0.6
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	选项
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

产品名称	手动L型阀门
操作方法	手动（旋转手柄）
系列	ABR	AER
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	――――――
气缸 80A~250A	――――――
手柄	铝合金
服役周期16A ~50A	5×105	1×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	――――――
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	――――――
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

* 对于空气切换电磁阀，单作用时使用3孔接口，双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。

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