日本直供 MIYUKI美幸辉 ABR-N25 真空L型阀门
日本直供 MIYUKI美幸辉 ABR-N25 真空L型阀门
L型阀门AB、AE、ABR、AER 系列你可以根据用途选择轴封类型(波纹箱密封、O型圈密封)。16A~50A可用于单作用和双作用模式。所有尺寸均可支持反压支持。
五大核心产品优势
1、全金属波纹管动密封,零橡胶析出、超高洁净度(最大差异化)
阀杆采用日本原厂 SUS316L 焊接波纹管隔绝腔体,无橡胶圈摩擦碎屑、无油脂挥发,不会污染真空腔体;适配半导体、光学镀膜、锂电高纯工艺、科研超高真空,杜绝 O 圈老化放气造成产品良率下降问题。
2、漏率更低,长期保真空不掉压
轴封无动态缝隙,整机漏率≤1E-9,可稳定维持超高真空;长时间停机腔体负压衰减极慢,真空泵启停频次大幅降低,优于国产波纹管阀与 AER 橡胶密封阀。
3、耐腐蚀耐烘烤,恶劣工况耐用
波纹管 + 304 阀体耐水汽、弱酸、有机挥发气体,支持腔体短时高温烘烤除气;FKM 阀座耐油耐化学溶剂,化工、溅射镀膜腐蚀性气体管路首选。
4、KF25 大通流,缩短抽真空节拍
NW25 通导 7.2L/s,管路流阻小,同容积腔体抽真空速度比 N16 提升近一倍,量产产线有效缩短待机工时、提升产能。
5、模块化通用,安装替换便捷
标准 KF25 通用真空配件(卡箍、支架、O 圈)市面通用,拆装免焊接;可加装 NPN/PNP 磁感应开关,反馈开关到位信号,对接 PLC 自动化控制;气缸、阀体分体结构,维保仅换阀座胶圈,不用整阀更换。
应用场景
半导体溅射 / 沉积设备、光学真空镀膜、锂电池真空注液、科研实验室超高真空腔体、精密检漏设备、特种气体高纯真空管路。