日本直供 MIYUKI美幸辉 AER-C40 真空L型阀门

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日本直供 MIYUKI美幸辉 AER-C40 真空L型阀门

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日本直供  MIYUKI美幸辉   AER-C40    真空L型阀门

日本直供  MIYUKI美幸辉   AER-C40    真空L型阀门

日本直供 MIYUKI 美幸辉 AER-C40 气动 O 圈密封 L 型真空阀（CF40 超高真空刀口法兰）

型号释义

AER=FKM 氟橡胶 O 圈轴封（经济型 O 圈结构）、C=CF 超高真空刀口法兰、40=CF40 通径 DN40，直角 L 型气动真空阀

基础参数

密封结构：阀杆 + 阀座双 FKM 氟橡胶 O 型圈动密封（区别 ABR 金属波纹管款）

驱动气源：0.4~0.6MPa，16A~50A 规格单 / 双作用气缸通用，常闭 / 常开可选

阀体：SUS304 不锈钢，内腔镜面电抛光、低放气，日本原厂无尘装配

极限真空：常压～10−5Pa高真空；整机漏率≤1×10−8Pa⋅m3/s

通导速率：13.5L/s，支持管路正反双向承压

耐温：阀体≤150℃；选配磁性开关环境≤70℃，启闭寿命≥35 万次

法兰：CF40 刀口无氧铜垫圈密封法兰（全金属硬密封法兰，超高真空标配）

五大核心产品优势

1、CF 刀口法兰，超高真空专用，可高温整体烘烤

C40 为 CF 标准刀口法兰，采用无氧铜垫片金属硬密封，无橡胶法兰圈，可 150℃腔体整体烘烤除气，不漏氦、放气量极低，是科研 / 半导体超高真空首选法兰。

2、O 圈密封高性价比，维保成本低

AER 系列 O 圈结构，易损件仅 FKM 密封圈，现场快速拆装更换，采购、维保成本远低于同口径 ABR 波纹管 CF 阀，兼顾真空性能与经济性。

3、大通径 DN40，抽气效率优异

40 大口径流阻小，缩短腔体抽真空时长，适配大腔体镀膜、真空炉前端主切断阀。

4、低析出洁净阀体，适配洁净工艺

内腔电抛光处理，原材料低挥发、无油脂析出，适配光学镀膜、锂电、实验室高纯真空腔体，减少腔体污染。

5、模块化自动化配套，兼容 PLC 控制

气缸阀体分体式结构，可加装 NPN/PNP 磁感应行程开关，反馈阀门开 / 关信号；可配套 DC24V 二位五通电磁阀，接入自动化程控产线。

AER-C40 VS ABR-C40 选型对比

型号轴封结构漏率适用真空产品定位
AER-C40FKM O 圈密封1×10−8Pa⋅m3/s10−5Pa高真空经济型、常规镀膜、通用科研真空
ABR-C40316L 金属波纹管1×10−9Pa⋅m3/s10−6Pa超高真空严苛半导体、超高真空腔体、长期高温烘烤工况

适用场景

科研实验室超高真空腔体、光学 PVD 溅射镀膜、中小型真空热处理炉、真空检漏设备、锂电原料真空除气、小型分子泵机组隔离阀。