日本直供 MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-N50

产品目录

日本直供 MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-N50 日本直供 MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-N50 同规格对比：ABR-N50（波纹管）VS AER-N50（O 圈）型号密封形式极限真空整机漏率成本与维保适用场景ABR-N50金属波纹管无轴封10−6 Pa110−9造价偏高、无轴封易损件氦检、…

日本直供 MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-N50

同规格对比：ABR-N50（波纹管）VS AER-N50（O 圈）

型号	密封形式	极限真空	整机漏率	成本与维保	适用场景
ABR-N50	金属波纹管无轴封	10−6 Pa	1×10−9	造价偏高、无轴封易损件	氦检、半导体镀膜、腔体高温烘烤、超高真空主隔断
AER-N50	FKM-O 圈阀杆密封	10−5 Pa	1×10−8	性价比高、仅需更换 O 圈	真空脱泡、预抽管路、普通量产真空设备

产品特点

KF50 通用快装：卡箍拆装，设备检修、管路改造不用动火改法兰，适配市面全部 KF50 配件

波纹管无泄漏：杜绝 O 圈老化漏气，长期稳定维持超高真空，适配高纯气体、无油真空系统

洁净低出气：内腔无残留加工油脂，满足锂电、光学、半导体洁净制程要求

自控拓展：可选 NPN/PNP 磁感应阀位开关，搭配 DC24V 二位五通电磁阀接入 PLC 自动化产线

适用设备

日系进口 PVD/CVD 镀膜机、氦质谱检漏系统、科研超高真空腔体、分子泵机组主阀、锂电原料真空除气炉

地理位置

产品名称	气动L型阀
操作方法	空气驱动
系列	AB	AE
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	单/双电兼容
气缸 80A~250A	多动
手柄	――――――
服役周期16A ~50A	5×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	0.4 ~ 0.6
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	选项
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

产品名称	手动L型阀门
操作方法	手动（旋转手柄）
系列	ABR	AER
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	――――――
气缸 80A~250A	――――――
手柄	铝合金
服役周期16A ~50A	5×105	1×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	――――――
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	――――――
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

* 对于空气切换电磁阀，单作用时使用3孔接口，双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。

日本直供 MIYUKI美幸辉 真空L型阀门 ABR-N50

产品目录

日本直供 MIYUKI美幸辉 真空L型阀门 ABR-N50

产品详情

同规格对比：ABR-N50（波纹管）VS AER-N50（O 圈）

产品特点

适用设备

日本直供 MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-N50