日本MIYUKI美幸辉 ABR-C63 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-C63 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-C63 真空L型阀门核心技术参数驱动气源：0.4～0.6MPa 洁净压缩空气，双作用气缸，常开 / 常闭两种阀体选型阀体材质：SUS304 不锈钢，内腔电解抛光、无尘出厂、超低出气率真空等级：大气压～超高真空；…

日本MIYUKI美幸辉 ABR-C63 真空L型阀门

核心技术参数

驱动气源：0.4～0.6MPa 洁净压缩空气，双作用气缸，常开 / 常闭两种阀体选型

阀体材质：SUS304 不锈钢，内腔电解抛光、无尘出厂、超低出气率

真空等级：大气压～超高真空；整机外漏率≤1×10−10Pa⋅m3/s（全金属密封最优指标）

通导能力：115L/s，双向耐反压，任意方向管路安装均可

耐烘烤参数：阀体最高200℃全程高温烘烤除气（CF 法兰 + 波纹管结构独有优势）；启闭寿命≥50 万次

型号	轴封结构	极限真空	漏率	维保特性	适用工况
ABR-C63	一体式金属波纹管	10−7Pa	1×10−10	无易损 O 圈、免日常换密封、耐高温烘烤	科研腔体、镀膜、半导体、超高真空主隔断、高温除气系统
AER-C63	FKM 氟橡胶 O 圈轴封	10−5Pa	1×10−8	成本低，定期更换阀杆 O 圈	预抽管路、普通高真空设备、无高温制程工况

CF 全金属刀口密封：无氧铜垫片密封，适配科研、半导体超高真空，可高温除气，无橡胶析出污染腔体

波纹管零外泄：阀杆无动密封泄漏，长期保超高真空，适配无油分子泵、离子泵机组

洁净低放气：内腔无残留加工油脂，满足光学镀膜、锂电、半导体高纯工艺环境

自控配套：可加装 NPN/PNP 磁感应开关 + DC24V 二位五通电磁阀，对接 PLC 自动化产线

科研 UHV 超高真空腔体、PVD/CVD 镀膜机、离子泵 / 钛泵机组、氦检台、半导体晶圆制程真空炉