日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100

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日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100

日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100

日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100 日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100 产品优势全金属密封：无滑动橡胶轴封，无有机物析出，洁净制程首选，超高真空保压稳定CF 法兰顶配：刀口 + 无氧铜垫片全金属静密封，耐高温、不漏气，超高真空系统标配接口大通导：内…

产品详情

Product Detail

日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100

日本MIYUKI美幸辉真空L型阀门 ABR-C100

产品优势

全金属密封：无滑动橡胶轴封，无有机物析出，洁净制程首选，超高真空保压稳定
CF 法兰顶配：刀口 + 无氧铜垫片全金属静密封，耐高温、不漏气，超高真空系统标配接口
大通导：内腔流线结构，抽气速率快，缩短腔体抽真空时长，提升设备产能
自控便捷：可加装 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀，直接对接 PLC 自动化控制
免维护：波纹管长效耐用，常年生产无需更换轴封配件，运维成本低

应用领域

PVD/CVD 镀膜设备、分子泵机组隔断阀、科研超高真空腔体、氦质谱检漏系统、半导体工艺腔体、真空冶金炉

同口径三法兰对比（ABR-100）

型号	法兰型式	密封方式	适用场景
ABR-C100	CF100 刀口法兰	无氧铜金属垫	超高真空腔体、氦检、科研、半导体主阀
ABR-N100	KF100 卡箍快拆	氟胶圈	干式泵预抽、量产通用真空管路
ABR-J100	JIS100 日式螺栓法兰	橡胶垫片	日系进口真空炉、镀膜设备替换原厂阀

ABR-C100 (波纹管) VS AER-C100 (O 圈密封)

型号	轴封结构	极限真空	最高烘烤温度
ABR-C100	金属波纹管	10−7Pa	200℃全温烘烤
AER-C100	FKM 氟胶 O 圈	10−5Pa	≤150℃，不可高温除气

地理位置

产品名称	气动L型阀
操作方法	空气驱动
系列	AB	AE
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	单/双电兼容
气缸 80A~250A	多动
手柄	――――――
服役周期16A ~50A	5×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	0.4 ~ 0.6
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	选项
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

产品名称	手动L型阀门
操作方法	手动（旋转手柄）
系列	ABR	AER
口径	16A~250A
法兰	KF（西北）·JIS・CF
轴密封	风箱	O型圈
气缸 16A~50A	――――――
气缸 80A~250A	――――――
手柄	铝合金
服役周期16A ~50A	5×105	1×105
服务周期 80A~250A	1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）	1×10-10 下图	1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）	105 ~ 10-6	105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）	――――――
材料：主体	SUS304
阀体填充	氟橡胶O型圈
轴密封	SUS316L 焊接风箱	氟橡胶 O型圈
近接开关	――――――
耐热工作温度	主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

* 对于空气切换电磁阀，单作用时使用3孔接口，双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。