日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100 真空L型阀门产品核心优势全金属波纹管密封，洁净无析出阀杆金属波纹管隔绝腔体与大气，无橡胶轴封挥发污染，适配高纯气体、高温烘烤腔体，半导体 / 精密镀膜优选。KF100 快装法兰，拆装便捷卡箍 + 氟胶…

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Product Detail

日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-N100  真空L型阀门

产品核心优势

全金属波纹管密封，洁净无析出

阀杆金属波纹管隔绝腔体与大气，无橡胶轴封挥发污染，适配高纯气体、高温烘烤腔体，半导体 / 精密镀膜优选。

KF100 快装法兰，拆装便捷

卡箍 + 氟胶圈密封，现场管路拆装快速，通用市面标准 KF 真空管路，替换进口阀不用改配管。

大通流流线内腔

L 型平滑流道、流阻极低，大抽速缩短腔体抽真空时长，提升真空炉、镀膜机稼动率。

原装气动气缸带缓冲

启闭缓冲减震，冲击小、寿命长；可选 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀，直连 PLC 自动化控制。

全工况通用性强

可负压、反压工况使用，适配分子泵主隔断、高真空主阀、高温工艺管路。

ABR-N100 VS AER-N100 选型对照


型号轴封结构极限真空烘烤温度适用场景
ABR-N100金属波纹管10−7Pa200℃半导体、氦检设备、PVD 主阀、高温真空腔体、科研超高真空系统
AER-N100FKM-O 圈动密封10−5Pa≤150℃预抽粗抽阀、普通脱泡、中真空量产设备

适用行业

半导体设备腔体隔断、光学镀膜机主阀、真空热处理炉、氦质谱检漏机组、锂电高真空化成设备、科研超高真空管路。