日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉  ABR-J100  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-J100 真空L型阀门产品核心优势全金属波纹管密封,洁净无挥发阀杆金属波纹管隔离腔体与大气,无橡胶轴封析出污染,适配高纯工艺气体、高温烘烤腔体,半导体 / 精密镀膜优选。JIS100 日式法兰,日系设备原配…

产品详情

Product Detail

日本MIYUKI美幸辉  ABR-J100  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉  ABR-J100  真空L型阀门

产品核心优势

  1. 全金属波纹管密封,洁净无挥发

    阀杆金属波纹管隔离腔体与大气,无橡胶轴封析出污染,适配高纯工艺气体、高温烘烤腔体,半导体 / 精密镀膜优选。

  2. JIS100 日式法兰,日系设备原配

    JIS 日标螺栓法兰,适配日系真空炉、镀膜机、进口真空泵组原厂管路,改造不用改开孔尺寸。

  3. 大通流平滑内腔

    L 型流线腔体、流阻小,抽气速度快,缩短腔体预抽时间,提升设备稼动率。

  4. 原装缓冲气缸 + 电控选配

    气缸内置启闭缓冲,减震静音;可选 NPN/PNP 阀位反馈 + DC24V 电磁阀,直连 PLC 自动化控制。

  5. 耐反压密封性强

    正负压双向密封可靠,可用于分子泵隔断阀、主抽阀、工艺气路切断阀。

同规格选型对照(J100 法兰)


型号轴封结构极限真空最高烘烤温度适用场景
ABR-J100金属波纹管10−7Pa200℃半导体腔体、氦检设备、高温 PVD 主阀、科研超高真空、锂电高真空制程
AER-J100FKM 氟胶 O 圈动密封10−5Pa≤150℃粗抽预抽管路、普通脱泡、中真空量产设备

适用行业

日系真空热处理炉、光学镀膜设备、半导体封装腔体、氦质谱检漏系统、真空烧结炉、进口真空泵机组配套。

地理位置

产品名称气动L型阀
操作方法空气驱动
系列ABAE
口径16A~250A
法兰KF(西北)·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A
单/双电兼容
气缸
80A~250A
多动
手柄――――――
服役周期16A
~50A
5×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s)1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州)105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压(MPa G)0.4 ~ 0.6
材料:主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关选项
耐热工作温度主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)
产品名称手动L型阀门
操作方法手动(旋转手柄)
系列ABRAER
口径16A~250A
法兰KF(西北)·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A
――――――
气缸
80A~250A
――――――
手柄铝合金
服役周期16A
~50A
5×1051×105
服务周期
80A~250A
1×105
泄漏体积(Pa·m3/s)1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域(宾夕法尼亚州)105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压(MPa G)――――――
材料:主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关――――――
耐热工作温度主机:150°C或以下(近接开关部分70°C或以下)

* 对于空气切换电磁阀,单作用时使用3孔接口,双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格(标准法兰、直径、耐压等)。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。