日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门MIYUKI 美幸辉 ABR-C160 气动全金属波纹管 L 型真空角阀（CF160 超高真空刀口法兰 DN160）产品核心优势CF 全金属刀口法兰无氧铜垫圈硬密封，超高真空专用，可反复高温烘烤，适配科研、半导体…

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-C160 真空L型阀门

MIYUKI 美幸辉 ABR-C160 气动全金属波纹管 L 型真空角阀（CF160 超高真空刀口法兰 DN160）

产品核心优势

CF 全金属刀口法兰

无氧铜垫圈硬密封，超高真空专用，可反复高温烘烤，适配科研、半导体超高真空腔体原装 CF 管路，无漏气隐患。

全金属波纹管隔绝密封

阀杆无橡胶滑动密封，无有机挥发物析出，高纯气体、等离子工艺不污染腔体，洁净制程首选。

大口径大通流流道

L 型流线内腔流阻极低，大抽速快速抽真空，适配分子泵主隔断阀、高真空主管路切断。

气缸内置缓冲 + 电控选配

启闭缓冲减震、低冲击；可选 DC24V 电磁阀 + NPN/PNP 阀位反馈，直连 PLC 自动化联锁控制。

同口径选型对照（CF160 法兰）


型号轴封结构极限真空最高烘烤温度适用场景
ABR-C160316L 金属波纹管10−7Pa200℃半导体腔体、PVD/CVD 镀膜、氦检设备、科研超高真空炉、锂电高真空烧结
AER-C160FKM 氟胶 O 圈动密封10−5Pa≤150℃粗抽预抽管路、中真空脱泡、普通量产真空设备

适用行业

科研实验室超高真空系统、半导体设备、光学镀膜机、真空热处理炉、氦质谱检漏机组、进口大型分子泵机组配套。