日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150 真空L型阀门产品特点（对比同口径 AER-J150）项目ABR-J150（波纹管）AER-J150（O 圈轴封）轴封结构金属波纹管隔绝真空与大气FKM 橡胶 O 圈动密封极限真空10⁻⁷Pa 高真空10⁻⁵Pa 中真空高温烘烤允许 …

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Product Detail

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J150  真空L型阀门


产品特点（对比同口径 AER-J150）

项目ABR-J150（波纹管）AER-J150（O 圈轴封）
轴封结构金属波纹管隔绝真空与大气FKM 橡胶 O 圈动密封
极限真空10⁻⁷Pa 高真空10⁻⁵Pa 中真空
高温烘烤允许 200℃除气禁止高温烘烤
洁净等级高纯工艺、无挥发普通量产粗抽
采购成本高端精密款经济型低成本

JIS150 日标法兰：日系真空设备通用标准，适配日本镀膜机、进口真空炉原厂管路，替换原装阀无需改开孔尺寸。

L 型流线内腔：流阻小、抽气速度快，缩短腔体预抽时间；气缸内置缓冲，开关冲击小、延长阀座密封寿命。

典型应用

1、真空镀膜行业（主力）

日系 PVD 磁控溅射、光学镀膜、ITO 镀膜设备分子泵入口主切断阀、高真空腔体主抽阀；粗抽旁路选用 AER-J150，主高真空回路标配 ABR-J150。

2、半导体 & 光伏

晶圆镀膜、PECVD 设备腔体隔离阀、高纯特种工艺气切断、氦检检漏系统主阀。

3、科研 / 航天

实验室超高真空试验舱、材料高温烧结炉、空间环境模拟设备主隔断阀（需腔体高温除气）。

4、锂电 & 特种工业

固态电池高温烧结炉、真空热处理钎焊炉、腐蚀性原料真空蒸馏釜主阀。

5、进口真空机组

大规格干式泵 + 罗茨泵 + 分子泵成套机组高真空隔离阀、腔体破空阀。