日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门应用场景真空镀膜：粗抽管路标配PVD / 光学镀膜机干泵粗抽隔断阀、腔体破空阀、旁路预抽阀，主高真空管路搭配 ABR-J150；通用工业真空真空热处理炉粗抽阀、树脂脱泡釜、罗茨 + 干式泵机组前置…

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日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 AER-J150 真空L型阀门

应用场景

  1. 真空镀膜：粗抽管路标配

    PVD / 光学镀膜机干泵粗抽隔断阀、腔体破空阀、旁路预抽阀，主高真空管路搭配 ABR-J150；

  2. 通用工业真空

    真空热处理炉粗抽阀、树脂脱泡釜、罗茨 + 干式泵机组前置阀；

  3. 光伏 / 普通锂电

    非高温烘烤型真空清洗、脱水设备隔离阀；

  4. 进口日系设备替换

    原装日标 JIS150 法兰，直接替换日本原厂设备旧阀，无需改管路开孔。

AER-J150 优势

  1. JIS150 日标法兰：适配日系原装设备，替换旧阀不用改管路。

  2. 性价比优异：O 圈结构，采购、维保成本低于波纹管 ABR 款。

  3. 通流大、抽气快：L 型内腔流阻小，缩短腔体预抽时间。

  4. 气动运行平稳：气缸自带缓冲，启闭冲击小；可选阀位反馈，方便自动化控制。

  5. FKM 密封耐用：耐水汽耐油，适合中真空粗抽工况。

AER-J150 VS ABR-J150（同口径选型对比）

参数AER-J150（O 圈款）ABR-J150（波纹管款）
轴封FKM 橡胶动密封316L 不锈钢全金属波纹管
极限真空10⁻⁵Pa 中真空10⁻⁷Pa 高真空
烘烤不可高温烘烤最高 200℃腔体除气
洁净度微量橡胶放气，粗抽使用无塑胶析出，高纯工艺
定位性价比量产粗抽阀精密设备主抽切断阀