日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门

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日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200 真空L型阀门MIYUKI 美幸辉 ABR-J200 气动 L 型高真空阀（DN200/JIS 日标法兰・波纹管款）型号释义ABR：316L 全金属焊接波纹管轴封、高真空专用 L 阀（无橡胶轴封渗漏）J：JIS B2290 日标螺栓法兰，日系…

产品详情

Product Detail

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200  真空L型阀门

日本MIYUKI美幸辉 ABR-J200  真空L型阀门

MIYUKI 美幸辉 ABR-J200 气动 L 型高真空阀（DN200/JIS 日标法兰・波纹管款）

型号释义

  • ABR：316L 全金属焊接波纹管轴封、高真空专用 L 阀（无橡胶轴封渗漏）

  • J：JIS B2290 日标螺栓法兰，日系原装设备标配法兰

  • 200：DN200 大通径、90°L 型直角阀体

关键参数

驱动：双作用气动气缸，气源 0.4~0.6MPa 干燥气源；可选 DC24V 电磁阀 + 磁感应开关，PLC 阀位反馈。

密封结构：阀杆全金属波纹管隔离密封、阀座 FKM 氟胶密封，整机漏率≤1×10−8Pa⋅m3/s。

真空等级：大气压～10−7Pa高真空，腔体最高200℃高温烘烤除气（AER-O 圈款不可烘烤）。

材质：阀体 SUS304 不锈钢内腔电解抛光，大通流≈920L/s，正反压差均可密封安装。

核心优势

全金属波纹管：无橡胶轴封挥发、低放气，高纯洁净，支持 200℃高温腔体烘烤。

JIS200 日标法兰：适配日系镀膜炉、真空炉原装管路，替换旧阀无需改配开孔。

DN200 大通径：L 型流线腔体流阻低、抽气速率快，缩短腔体预抽时间。

气缸内置缓冲：启闭减震静音、颗粒少，耐用寿命长，适配自动化生产线联控。

双向耐压密封：耐反压性能优异，多用于主抽管路隔断、分子泵前端切断阀。

适用工况

精密 PVD 光学镀膜、半导体、锂电高真空制程、高温真空炉主抽阀、氦检设备主管路阀。

地理位置

产品名称气动L型阀
操作方法空气驱动
系列ABAE
口径16A~250A
法兰KF（西北）·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A		单/双电兼容
气缸
80A~250A		多动
手柄――――――
服役周期16A
~50A		5×105
服务周期
80A~250A		1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）0.4 ~ 0.6
材料：主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关选项
耐热工作温度主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）
产品名称手动L型阀门
操作方法手动（旋转手柄）
系列ABRAER
口径16A~250A
法兰KF（西北）·JIS・CF
轴密封风箱O型圈
气缸
16A~50A		――――――
气缸
80A~250A		――――――
手柄铝合金
服役周期16A
~50A		5×1051×105
服务周期
80A~250A		1×105
泄漏体积（Pa·m3/s）1×10-10 下图1×10-8 下图
使用区域（宾夕法尼亚州）105 ~ 10-6105 ~ 10-5
所需气压（MPa G）――――――
材料：主体SUS304
阀体填充氟橡胶O型圈
轴密封

SUS316L

焊接风箱

氟橡胶

O型圈
近接开关――――――
耐热工作温度主机：150°C或以下（近接开关部分70°C或以下）

* 对于空气切换电磁阀，单作用时使用3孔接口，双作用时使用4通或5通口。

* 我们也可以制造除表中列出的特殊规格（标准法兰、直径、耐压等）。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。