日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC

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日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC

日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC

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日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC

日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC

MIYUKI 美幸辉 BAZ-I40+MS-PC 数字定点成套电动真空蝶阀

同系列区分

型号组合控制方式控制器适用场景
BAZ+MS-PC00~99 数字定点档位MS-PC工艺重复性高、分段阶梯进气（镀膜 / 锂电主流）
BAR+MS-VP0~10V 模拟连续调压MS-VP连续无级微调稳压、动态压力闭环控制

典型应用场景

光学镀膜 / 真空蒸镀机：腔体阶梯缓慢进气、分段升压，防止膜层针孔开裂

锂电真空脱泡 / 注液设备：分段破真空，避免电解液飞溅

半导体、PVD/CVD 制程：工艺腔体精密稳压、惰性气体精准配比进气

科研真空炉、检漏设备：高精度梯度泄压 / 进气控制

结构特点

电机直驱无齿轮间隙，无反向窜动，微小开度气流稳定、低压稳压优异

阀内无外露金属摩擦件，低发尘、洁净度高，适配半导体 / 镀膜无尘制程

全行程 90° 均分00~99 共 100 档固定开度（00 全关、99 全开），档位机械锁止无漂移

任意方位安装，启闭静音，小开度进气线性均匀

开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置

概述

■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。

■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。

■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。

■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。

地理位置

控制器型号MS-PC
适用的开口规范阀门类型巴兹加兹
面板显示4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出准备，移动，打开，关闭
输入电源电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）110毫米×130毫米×141毫米
质量1公斤
配件支架
有线电视（单独出售）*2

电机电缆
编码线

电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。