日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

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日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

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日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-C63 +MS-PC

日本 MIYUKI 美幸辉 BAZ-C63+MS-PC 数字定点成套电动真空蝶阀（CF63 刀口法兰 DN63 超高真空）

主流应用场景（CF63 超高真空专用）

磁控溅射、电子束蒸镀、光学镀膜超高真空腔体：阶梯缓破空，避免薄膜氧化、针孔不良；

表面分析设备 XPS/AES、科研实验室超高真空试验舱：微量工艺进气、腔体精密稳压控压；

半导体 PVD、离子注入设备、小型超高真空钎焊炉：特种气体分段配比、梯度升压；

精密氦检工装、无油超高真空负压中试设备：标准化分段泄压工艺。

同口径选型对照表

成套型号控制形式配套电控适用工况
BAZ-C63+MS-PC00~99 数字档位定点MS-PCCF 刀口法兰、超高真空、固定分段进气量产工艺
BAR-C63+MS-VP0~10V 模拟无级连续调压MS-VPCF 法兰超高真空、闭环动态实时稳压控制

开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿，支持高层系统的输入输出操作，并在停电时通过电磁制动保持位置

概述

■ 这是一个开启控制系统，将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。

■ 气门开口均匀分布为100个部件，贯穿传动轴的工作范围内。

■ 可以通过面板开关手动操作，更高级别系统也可以实现自动操作。

■ 该阀门既可用于可变导导，也可用于全闭合排气管。

地理位置

控制器型号MS-PC
适用的开口规范阀门类型巴兹加兹
面板显示4个LED灯（准备/移动/开/关闭）
面板操作电平设置开关（00~99），移动按钮，打开按钮
外部输入输出开门度规范（bit1， 2， 4， 8， 16， 32， 64， 128）， MOVE， OPEN
外部输入输出输入/输出准备，移动，打开，关闭
输入电源电压：DC24V±5% 功耗：*95W
参数重写*1数据设置软件 MEXE02（东方马达）
尺寸（W×D×H）110毫米×130毫米×141毫米
质量1公斤
配件支架
有线电视（单独出售）*2

电机电缆
编码线

电磁制动电缆

※1：在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。

※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。