日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪

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日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪

日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪

日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪 日本 TORAY 东丽 MS-500 氧气分析仪 产品简介MS-500 是东丽旗舰多点真空专用氧分析仪，整机三件套：MS-500 主控控制器 + MS-510 单点转换器 + SD 直插真空传感器；1 台主机最多带 8 路测点同步监测，替代多台 LD-450 单机，专为…

产品详情

Product Detail

日本 TORAY 东丽  MS-500   氧气分析仪 

日本 TORAY 东丽  MS-500   氧气分析仪 

产品简介

MS-500 是东丽旗舰多点真空专用氧分析仪，整机三件套：MS-500 主控控制器 + MS-510 单点转换器 + SD 直插真空传感器；1 台主机最多带 8 路测点同步监测，替代多台 LD-450 单机，专为多腔体真空设备、半导体设备集成配套开发，采用高温氧化锆浓差电池原理，无电解液、原位扩散测气、无取样泵、免气路预处理，是晶圆、镀膜、锂电多腔体产线标配仪表。

产品核心优势

  1. 8 点多路集成：一台主控最多管控 8 个腔体，大幅减少仪表数量、布线与机柜空间，多工位产线成本最优；

  2. 真空直插免取样：SD 探头直接拧入腔体法兰，无真空泵、过滤器，杜绝管路漏气造成测氧误差；

  3. 耐镀膜特种传感器：探头表层防溅射镀膜涂层，抗粉尘、有机物挥发，适配 PVD/CVD 易结垢腔体，寿命 3～5 年；

  4. 模块化分体设计：单个测点故障仅更换对应 MS-510+SD，其余 7 路正常运行，不影响整套设备生产。

型应用场景

  1. 半导体 / 光电：多腔 PVD 溅射炉、CVD、晶圆退火炉、OLED 封装腔体多点残氧监控；

  2. 新能源锂电：多仓手套箱、连续式极片烧结炉、多腔体注液保护舱 N₂/Ar 气氛测氧；

  3. 热处理 / 3D 打印：多工位钎焊炉、连续光亮退火炉、多腔体金属 3D 打印密闭炉；

  4. 特种气体：多路高纯氮 / 高纯氩管道在线微量氧检测。


型号：MS-500

  • 能够同时测量最多8个点

  • 显示浓度范围广泛，从ppm水平到100%

  • 最适合安装在半导体制造设备、真空设备等。

  • 直插式传感器（真空用NW 16/25/40法兰）

  • 高耐久性传感器采用特殊涂层以增强耐用性

MS-500 规格

测量原理锆浓度细胞类型
类型独立型（转换器：墙挂式;传感器：直接插入式）
显示系统4位数字显示（集中显示）
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动射击场
重复性在全额±0.5%以内;范围为0-1%或更大
，均为全量度±1%或±0.1 ppm，以较大者为准;低于0-1%
的浓度范围，0-1 ppm、ATM范围内的浓度已经过保固。
测量点数量1~8
样品气体需求压力10-3绝对压力降至200KPa。
流量0.5至5,000 mL/min或0 mL/min（以自然扩散状态测量）
湿度露点低于环境温度
温度0至100°C
其他不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫酸气等）、含有机硅油、易燃物质（包括气体）、油或湿气的气体
参考气体大气
录音机输出仅传输输出
传输输出RS-232C
报警输出没有
热身时间6分钟或更短
尺寸MS-500（控制器）92毫米（宽）×44毫米（高）×120毫米（深）（不含突出部件）
MS-510（转换器）100毫米（宽）×40毫米（高）×88毫米（深）（不含突出部件）
传感器单元SD16NW全长100毫米（传感器⌀ 11×39，机身⌀ 40×51）
SD25NW全长100毫米（传感器⌀ 11×42，机身⌀ 40×48）
SD40NW全长100毫米（传感器⌀ 11×41，机身⌀ 40×49）
重量MS-500（控制器）约0.6公斤
MS-510（转换器）约0.5公斤
传感器单元SD16NW约0.2公斤
SD25NW约0.2公斤
SD40NW约0.35公斤
外部连接任何真空法兰（NW16、25或40）都好
动力24伏直流±10%