日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 LC-860日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 LC-860TORAY 东丽 LC-860 高性能氧化锆微量氧分析仪核心优势(对比 LC-450A/D)微量氧精度更强:小流量稳流气路,低氧漂移更小,高纯 N₂/Ar 微量残氧首选;抗污染升级:传感器表层加厚抗硅镀膜 + 四级…
日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 LC-860
日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 LC-860
TORAY 东丽 LC-860 高性能氧化锆微量氧分析仪
微量氧精度更强:小流量稳流气路,低氧漂移更小,高纯 N₂/Ar 微量残氧首选;
抗污染升级:传感器表层加厚抗硅镀膜 + 四级过滤,锂电、半导体含微量硅油挥发工况寿命可达 4~6 年;
功能更全:四段报警 + 可选参考气吹扫,适合工艺闭环自控;
读数精细:6 位显示,低浓度微小氧变化直观可见。
半导体 / 光伏:晶圆外延炉、刻蚀腔体、高纯氮 / 氩气管道、氮气柜 ppb 级残氧监测;
新能源锂电:全自动手套箱、烧结炉、注液舱惰性气氛精密控氧;
特种气体 / 空分:超高纯制氮、特种稀有气体出厂在线质检;
科研实验室:气氛实验炉、密闭腔体微量氧分析。
低浓度测量
测量范围从ppb水平到100%
操作简便,分开按键操作
也很简单。
净化函数
通过稳定参考气体可以实现更宝贵的测量。(仅适用于具有清除功能的模型)
提供高可靠性传感器
处理以防止传感器退化(可选)。
| 测量原理 | 锆浓度细胞类型 | ||
|---|---|---|---|
| 类型 | 桌面类型/面板安装型 | ||
| 显示系统 | 6位数字显示(集中显示) | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自动/固定范围 | ||
| 重复性 | 在全比例 氧气浓度低于1 ppm的±1%以内,以及0-1 ppm的浓度在大气压范围内,均已超出保修期。 | ||
| 抽样方法 | 带内置泵的连续吸力 | ||
| 样品气体需求 | 压力 | 加压30 KPa或更低 | |
| 流量 | ~1,500毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0至50°C | ||
| 其他 | 不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫酸气等)、含有机硅油、易燃物质(包括气体)、油或湿气的气体 | ||
| 参考气体 | 大气 | ||
| 录音机输出 | 氧浓度输出 | 4-20 mA/0-10 V 4-20 mA:绝缘;负载电阻600 Ω或更小 ,0-10伏:绝缘;负载电阻500 Ω或更高 记录输出范围为全刻度,氧气浓度以线性输出表示 | |
| 输出范围 | 0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,10-20-10-0或自动/固定范围,任意4个范围 | ||
| 传输输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | FAIL(设备错误) | 1分 | 非电压接触;接点容量:24伏直流/交流电或以下,设备错误时接触点闭合0.1安培或更低 (触点操作可调节) |
| 注意力警报(ALM) | 2分 | 非电压接触;接点容量:24伏直流/交流电或以下,0.1安培或更低 。报警发生时接触点关闭(触点操作可调节) | |
| RDY(预热信号) | 1分 | 非电压接触;接触容量:24伏直流/交流电或以下,0.5安培或更低 的接点在预热时闭合(触点操作可调节)
| |
| MRK(距离标记器)输出 | 3分 | 非电压接触;接触容量:24伏直流/交流电或以下,0.1安培或更低 | |
| 热身时间 | 20分钟或更短 | ||
| 尺寸 | 正体 | 288毫米(宽)×144毫米(高)×400毫米(宽)(不含突出部件) | |
| 重量 | 约10公斤 | ||
| 燃气连接 | 海湾 | Rc1/8 | |
| 旁路出 | Rc1/8 | ||
| 出口 | Rc1/4 | ||
| 动力 | 100至120伏交流±10%,200伏A,50赫兹/60赫兹 | ||