日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD/LD-450

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日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD/LD-450

日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD/LD-450

日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD/LD-450日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD/LD-450适用场景半导体 / 光伏：PVD/CVD 真空镀膜、晶圆退火炉、真空腔体残氧监测新能源锂电：氩气手套箱、真空负极烧结炉、密封注液舱粉末冶金 / 3D 打印：真空钎焊炉、惰性密闭成型舱特种气体：…

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Product Detail

日本 TORAY 东丽  氧气分析仪  SD/LD-450

日本 TORAY 东丽  氧气分析仪  SD/LD-450

适用场景

  1. 半导体 / 光伏：PVD/CVD 真空镀膜、晶圆退火炉、真空腔体残氧监测

  2. 新能源锂电：氩气手套箱、真空负极烧结炉、密封注液舱

  3. 粉末冶金 / 3D 打印：真空钎焊炉、惰性密闭成型舱

  4. 特种气体：高纯氮 / 氩气真空管道在线微量氧检测

产品优势

  1. 免取样管路 + 无采样泵，杜绝管路漏气引入空气误差；

  2. 分体安装：探头装高温真空炉体，主机装电控柜，避开恶劣环境；

  3. 全量程通用：一台兼顾 ppb 微量氧～100% 高氧，替代多台 LC 机型；

  4. 传感器寿命 3~5 年，空气校准无需标气，维护成本低。

型号：SD/LD-450

  • 灵活的安装布局。氧传感器和低扁平转换器分开，大大放宽了设备安装位置的限制。

  • 节省空间。新开发的低矮壁挂式转换器消除了对设备深度的担忧。

  • 超高速响应。分离传感器提供最快的响应速度。

  • 高度耐用的传感器。还采用了特殊涂层以提升耐用性。

  • 符合标准。符合CE标志、EN61010-1、EN61326-1和RoHS认证。溅射系统、设备气体纯度管理、工厂管道Ar焊管理、实验设备及测试设备

  • 传感器兼容真空的NW法兰（16、25、40）和旋入式（3/8R）。根据使用状况选择合适的类型。

SD/LD-450 规格

测量原理锆浓度细胞类型
类型独立型（转换器：墙挂式;传感器：直接插入式）
显示系统4位数字显示（集中显示）
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动/固定范围
重复性在全比例±0.5%以内;0-1%或更大
范围在全比例±1%以内或±1ppm（以较大者为准）;低于0-1%
范围0-1 ppm、ATM范围内的浓度已超出保修期。
样品气体需求
压力10-3到200 KPa（绝对压力）
流量0.5至5,000 mL/min或0 mL/min（以自然扩散状态测量）
湿度露点低于环境温度
温度0至100°C
其他不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫酸气等）、含有机硅油、易燃物质（包括气体）、油或湿气的气体
参考气体大气
录音机输出氧浓度输出4-20米（可选择此与传输输出）
绝缘;负载电阻不超过550 Ω
录音输出范围为全尺寸，氧气浓度以线性输出表示
输出范围0-100%，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm 自动/固定范围
传输输出RS-232C（可选择与模拟输出）
报警输出FAIL（设备错误）1分非电压接触;接触容量：30伏直流/交流电或以下，设备故障时接触点闭合0.5安培或更低
（触点操作可调节）
注意力警报（ALM）4点（HH/H/L/LL）非电压接触;接触容量：30伏直流交流电或以下，报警发生时触点闭合0.5安培或更低
（触点操作可调节）
RDY（预热信号）1分无电压接触;接触容量：30伏直流/交流电或以下，0.5安培或更小

  • 非电压接触点的最小开合容量为12伏或更高;对极小负载不响应

MRK（距离标记器）输出2分非电压接触;接触容量：30伏直流交流或以下，0.3安培或更小
热身时间6分钟或更短
尺寸转换器185毫米（宽）×155毫米（高）×40毫米（不包括突出部件）
传感器单元SD3/8R全长100毫米（传感器⌀ 11×37，机身⌀ 40×48.5）
SD16NW全长100毫米（传感器⌀ 11×39，机身⌀ 40×51）
SD25NW全长100毫米（传感器⌀ 11×42，机身⌀ 40×48）
SD40NW全长100毫米（传感器⌀ 11×41，机身⌀ 40×49）
重量转换器约1.2公斤
传感器单元约0.5公斤
外部连接真空法兰（NW16、25或40）或R3/8螺丝
动力24 V 直流±10%，60 V A（正常电压：15 V A或以下）