日本 TORAY 东丽 SD-450 传感器

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日本 TORAY 东丽   SD-450   传感器

日本 TORAY 东丽 SD-450 传感器

日本 TORAY 东丽 SD-450 传感器日本 TORAY 东丽 SD-450 传感器产品核心优势分体避高温:SD 探头直插炉体 / 真空仓,LD-450 主机壁挂电控柜,隔绝高温、粉尘恶劣环境,延长整机寿命;免取样系统:取消采样管路、真空泵,彻底杜绝管路漏气渗氧造成测量失真,真空环…

产品详情

Product Detail

日本 TORAY 东丽   SD-450   传感器

日本 TORAY 东丽   SD-450   传感器

产品核心优势

  1. 分体避高温:SD 探头直插炉体 / 真空仓,LD-450 主机壁挂电控柜,隔绝高温、粉尘恶劣环境,延长整机寿命;

  2. 免取样系统:取消采样管路、真空泵,彻底杜绝管路漏气渗氧造成测量失真,真空环境优势突出(区别 LC-750 泵吸取样系列);

  3. 全量程通用:单支探头覆盖 ppb 微量氧至 100% 高氧浓度,不用分段选配多规格传感器;

  4. 耐腐抗污:探头传感区特殊防护涂层,耐受微量油气、轻微粉尘污染,适配连续 24h 工业在线监测。

典型应用领域

  • 半导体 / 光伏:PVD 溅射机、CVD 真空腔体、晶圆退火炉残氧监控;

  • 锂电新材料:氩气手套箱、正负极真空烧结炉惰性气氛管控;

  • 精密制造:金属 3D 打印真空仓、粉末冶金真空钎焊炉;

  • 特种气体:高纯氮 / 氩密闭储罐、真空输送管线微量氧检测。

SD/LD-450

SD/LD-450

  • 灵活的安装布局。氧传感器和低扁平转换器分开,大大放宽了设备安装位置的限制。

  • 节省空间。新开发的低矮壁挂式转换器消除了对设备深度的担忧。

  • 超高速响应。分离传感器提供最快的响应速度。

  • 高度耐用的传感器。还采用了特殊涂层以提升耐用性。

  • 符合标准。符合CE标志、EN61010-1、EN61326-1和RoHS认证。溅射系统、设备气体纯度管理、工厂管道Ar焊管理、实验设备及测试设备

  • 传感器兼容真空的NW法兰(16、25、40)和旋入式(3/8R)。根据使用状况选择合适的类型。

SD/LD-450 规格

测量原理锆浓度细胞类型
类型独立型(转换器:墙挂式;传感器:直接插入式)
显示系统4位数字显示(集中显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动/固定范围
重复性在全比例±0.5%以内;0-1%或更大
范围在全比例±1%以内或±1ppm(以较大者为准);低于0-1%
范围0-1 ppm、ATM范围内的浓度已超出保修期。
样品气体需求
压力10-3到200 KPa(绝对压力)
流量0.5至5,000 mL/min或0 mL/min(以自然扩散状态测量)
湿度露点低于环境温度
温度0至100°C
其他不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫酸气等)、含有机硅油、易燃物质(包括气体)、油或湿气的气体
参考气体大气
录音机输出氧浓度输出4-20米(可选择此与传输输出)
绝缘;负载电阻不超过550 Ω
录音输出范围为全尺寸,氧气浓度以线性输出表示
输出范围0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm 自动/固定范围
传输输出RS-232C(可选择与模拟输出)
报警输出FAIL(设备错误)1分非电压接触;接触容量:30伏直流/交流电或以下,设备故障时接触点闭合0.5安培或更低
(触点操作可调节)
注意力警报(ALM)4点(HH/H/L/LL)非电压接触;接触容量:30伏直流交流电或以下,报警发生时触点闭合0.5安培或更低
(触点操作可调节)
RDY(预热信号)1分无电压接触;接触容量:30伏直流/交流电或以下,0.5安培或更小
  • 非电压接触点的最小开合容量为12伏或更高;对极小负载不响应

MRK(距离标记器)输出2分非电压接触;接触容量:30伏直流交流或以下,0.3安培或更小
热身时间6分钟或更短
尺寸转换器185毫米(宽)×155毫米(高)×40毫米(不包括突出部件)
传感器单元SD3/8R全长100毫米(传感器⌀ 11×37,机身⌀ 40×48.5)
SD16NW全长100毫米(传感器⌀ 11×39,机身⌀ 40×51)
SD25NW全长100毫米(传感器⌀ 11×42,机身⌀ 40×48)
SD40NW全长100毫米(传感器⌀ 11×41,机身⌀ 40×49)
重量转换器约1.2公斤
传感器单元约0.5公斤
外部连接真空法兰(NW16、25或40)或R3/8螺丝
动力24 V 直流±10%,60 V A(正常电压:15 V A或以下)