TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪

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TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪

TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪

TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪TORAY 东丽 MS-500 分体式多点氧化锆氧分析仪 MS-500能够同时测量多达 8 个点显示从 ppm 级到 100% 的广泛浓度范围安装在半导体制造设备、真空设备等中。直插式传感器 （NW 16/25/40 真空法兰）传感器采用特殊涂层，耐用性…

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Product Detail

TORAY 东丽  MS-500  分体式多点氧化锆氧分析仪

TORAY 东丽  MS-500  分体式多点氧化锆氧分析仪

 MS-500

TORAY东丽氧化锆浓缩池氧气分析仪

  • 能够同时测量多达 8 个点

  • 显示从 ppm 级到 100% 的广泛浓度范围

  • 安装在半导体制造设备、真空设备等中。

  • 直插式传感器 （NW 16/25/40 真空法兰）

  • 传感器采用特殊涂层，耐用性更强

产品核心优势

多点集约：1 台替代最多 8 台 LC 一体式仪表，柜体空间、采购成本大幅节约；

真空直装：探头直接插入真空腔体，适配高真空惰性气氛（N₂/Ar 保护）微量残氧检测；

耐腐探头：传感器表面特殊抗中毒涂层，耐微量有机挥发物，真空工况寿命 3～5 年；

工控适配：EtherCAT 总线标配选型，无缝对接日韩 / 国产半导体 PLC 自动化产线。


应用场景

  • 半导体：晶圆扩散炉、溅射 / 刻蚀腔体、多腔镀膜设备残氧在线监控；

  • 热处理：真空钎焊炉、粉末冶金烧结炉、锂电负极烧结窑惰性气氛控氧；

  • 特种气体：高纯氮、高纯氩罐体 / 管道 ppb 级微量氧检测、多工位手套箱监测。

MS-500 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型分离型（转换器：壁挂式;传感器：直接插入式）
显示系统4 位数字显示（浓度显示）
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动系列
重复性满量程的 ±0.5% 以内;范围 0-1% 或更高
在满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内，以较大者为准;范围小于 0-1
% 浓度在 0-1 ppm 之间，大气压范围不在保修期内。
测量点数量1~8
样气要求压力10-3至 200KPa（绝对压力）
流量0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散状态下测量）
湿度露点低于环境温度
温度0 至 100°C
别人不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化气等）、含有有机硅的气体、易燃物质（包括气体）、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出仅传输输出
传输输出RS-232C 系列
警报输出没有
预热时间6 分钟或更短
尺寸MS-500（控制器）92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分）
MS-510（转换器）100 mm （W） × 40 mm （H）×88 mm （D）（不包括突出部分）
传感器单元SD16NW型全长 100mm（传感器 ⌀ 11×39，机身 ⌀ 40×51）
SD25NW型全长 100mm（传感器 ⌀ 11×42，机身 ⌀ 40×48）
SD40NW 系列全长 100mm（传感器 ⌀ 11×41，机身 ⌀ 40×49）
重量MS-500（控制器）约 0.6 kg
MS-510（转换器）约 0.5 kg
传感器单元SD16NW型约 0.2 kg
SD25NW型约 0.2 kg
SD40NW 系列约 0.35 kg
外部连接任何真空法兰（NW16、25 或 40）
权力24VDC±10%