OTSUKA 大塚电子 厚度监测仪 FE-300

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OTSUKA 大塚电子 厚度监测仪 FE-300

OTSUKA 大塚电子 厚度监测仪 FE-300

OTSUKA 大塚电子 厚度监测仪 FE-300OTSUKA 大塚电子 厚度监测仪 FE-300OTSUKA 大塚电子 FE‑300 膜厚监测仪（Thickness Monitor）FE‑300 是一款紧凑型、非接触式光学干涉法膜厚测量仪，主打 “高精度 + 低成本 + 易操作”，广泛用于透明 / 半透明薄膜、涂层、晶圆、…

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Product Detail

OTSUKA 大塚电子  厚度监测仪  FE-300

OTSUKA 大塚电子  厚度监测仪  FE-300

OTSUKA 大塚电子 FE‑300 膜厚监测仪（Thickness Monitor）

FE‑300 是一款紧凑型、非接触式光学干涉法膜厚测量仪，主打 “高精度 + 低成本 + 易操作”，广泛用于透明 / 半透明薄膜、涂层、晶圆、光学膜的厚度与光学常数（n/k）检测。

基于高精度分光光度测量的薄膜厚度测量系统体积小巧，价格实惠。所有必要的组件都集成在一个本体中，以实现稳定的测量数据。虽然价格实惠，但准确性没有妥协，甚至支持光学常数分析。

特色

  • 宽薄膜厚度范围（1nm~1mm）

  • 利用反射光谱测量厚度

  • 紧凑且价格实惠，同时不牺牲高精度

  • 用户友好的软件界面。

  • 解析算法包括峰谷法、快速傅里叶变换（FFT）方法、非线性最小二乘法和优化法。

  • 非线性最小二乘法的光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）

 

测量项目

  • 绝对反射率

  • 薄膜厚度（最多10层）

  • 光学常数（n：折射率，k：消光系数）

 

应用

  • 功能膜、塑料
    透明膜（ITO、银纳米线）、延迟膜、偏振膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、胶粘剂、保护膜、硬涂层

  • 半导体、化合物半导体
    硅、氧化物薄膜、氮化物薄膜、光阻、硅化晶、砷化镓、砷化镓、InP、镰铀、铅框架、超高层氧化物、蓝宝石

  • 表面处理
    DLC，防锈、防雾添加剂

  • 光学材料
    滤镜，AR涂层

  • FPD
    液晶显示器（CF、ITO、LC、PI、PS）、OLED

  • 其他
    硬盘、磁带、建筑材料