OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3

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OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3OTSUKA 大塚电子 FE‑3 内置胶片厚度显示器定位：嵌入式 / 在线型分光干涉膜厚监测仪，主打设备内置、实时在线、高速高精度 **；用于产线集成与多点监控，区别于台式 FE‑300/3000 与椭…

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Product Detail

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器  FE-3

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器  FE-3

OTSUKA 大塚电子 FE‑3 内置胶片厚度显示器

定位：嵌入式 / 在线型分光干涉膜厚监测仪，主打设备内置、实时在线、高速高精度 **；用于产线集成与多点监控，区别于台式 FE‑300/3000 与椭偏仪 FE‑5000。
特色

  • 基于高精度光谱干涉测量的薄膜厚度测量系统

  • 快速傅里叶变换（FFT）方法作为分析算法（专利号：4834847）

  • 使用光纤的各种测量光学

  • 适用于各种制造设备的集成

  • 实时厚度测量

  • 远程控制与多点测量

  • 白色LED光源——寿命长且稳定性高

 

测量项目

  • 多层薄膜的薄膜厚度分析

 

应用

  • 光学膜（硬涂层、增强现实膜、ITO膜等）等等）

  • FPD（抗性，SOI，SiO2…等等）