OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2

产品目录

OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2

OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2

OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2OTSUKA 大塚电子 OPTM‑A2 显微分光膜厚计（光学厚度计）定位：可见光 - 近红外显微分光式，自动 XY 平台；主打透明 / 半透明膜、显示 / 光学膜、中厚膜 ，兼顾微区与大面积 Mapping。该仪器通过测…

产品详情

Product Detail

OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2

OTSUKA 大塚电子 光学厚度计 OPTM-A2

OTSUKA 大塚电子 OPTM‑A2 显微分光膜厚计（光学厚度计）

定位：可见光 - 近红外显微分光式，自动 XY 平台；主打透明 / 半透明膜、显示 / 光学膜、中厚膜 ，兼顾微区与大面积 Mapping。


该仪器通过测量显微区域的绝对光谱反射率，实现对胶片厚度和光学常数的极高精度分析。
无损和非接触厚度测量可以在多层薄膜和多种涂层层上进行，包括薄膜、晶圆和光学材料。
测量速度最快可达每点1秒。即使是初学者，分析光学常数的软件也非常容易上手。

规格
类型OPTM-A1OPTM-A2OPTM-A3
波长范围230 nm~800 nm360 nm~1100 nm900 nm~1600 nm
胶片厚度
测量范围*		1 nm~35 μm7 nm~49 μm16 nm~92 微米
样本量**最大200毫米×200毫米×17毫米
即热尺寸Φ５、Φ10、Φ20、Φ40

备注：
对于自动XY级类型
*数值为SiO2等效厚度。
**如需关于300毫米阶段的咨询，请联系我们。

类型自动XY
级类型		固定帧类型内置气缸盖类型
尺寸（W×D×H）556×566×618毫米368×468×491毫米210×441×474毫米
，90×250×190毫米*
重量66公斤38公斤23公斤
，4公斤*
最大功耗
**		500 VA400 VA

*电源单元
**购买时选择电压（交流90-110伏或200-240伏）

特色

  • 所有用于测量胶片厚度所需的功能都集成在磁头中

  • 利用微观光谱学实现高精度的绝对反射率测量（多层薄膜厚度和光学常数）

  • 每点速度小于1秒的高速测量

  • 一种光学系统，使得利用显微镜实现宽波长范围（紫外到近红外）的测量成为可能

  • 带区域传感器的安全机制

  • 简易分析向导，允许任何人——即使是未经训练的操作员——也能轻松进行光学常数的分析

  • 软件程序包含宏函数，用于定制测量序列

  • 可以进行各种自定义

  • 复数光学常数也可以进行分析
    （多点分析）

  • 300毫米级可选

测量项目

  • 绝对反射率测量

  • 厚度分析

  • 光学常数分析（n：折射率k：消光系数）