OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3/40C

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OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3/40C

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3/40C

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3/40COTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器 FE-3/40C具有波长依赖特性的精确多层薄膜厚度测量特色基于高精度光谱干涉测量的薄膜厚度测量系统快速傅里叶变换（FFT）方法作为分析算法（专利号：4834847）使用光纤的各种测量光学适用…

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OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器  FE-3/40C

OTSUKA 大塚电子 内置胶片厚度显示器  FE-3/40C


具有波长依赖特性的精确多层薄膜厚度测量

特色

  • 基于高精度光谱干涉测量的薄膜厚度测量系统

  • 快速傅里叶变换（FFT）方法作为分析算法（专利号：4834847）

  • 使用光纤的各种测量光学

  • 适用于各种制造设备的集成

  • 实时厚度测量

  • 远程控制与多点测量

  • 白色LED光源——寿命长且稳定性高


测量项目

  • 多层薄膜的薄膜厚度分析 

应用

  • 光学膜（硬涂层、增强现实膜、ITO膜等）等等）

  • FPD（抗性，SOI，SiO2…等等）

规格
类型FE-3/40CFE-3/200I
原理光谱干涉测量
厚度范围（无日期）20 nm ~ 40 μm3微米~200微米
波长范围430 nm ~ 650 nm900 nm ~ 1600 nm
准确性± 0.2 纳米*-
重复性2.1σ < 0.1nm-
测量时间0.1秒 ~ 10秒
斑点直径约φ 1.2毫米
光源白色LED卤素
光纤Y型光纤 1.5米 ~ 100米
尺寸与重量W300 x D300 x H150mm，约10公斤
软件峰谷法、FFT分析、优化

* 保证VLSI厚度标准（100nm SiO）2/Si）