OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S

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OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100SOTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S 方便的类型，可以带到生产现场使用简便，任何人都能使用即使手持式机也能实现高精度测量即使是成形样品，也可实现无损测量规格项目优点标准类型SM-100PSM-100S测量方法反射光谱学（光学…

产品详情

Product Detail

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100S

· 方便的类型，可以带到生产现场
· 使用简便，任何人都能使用
· 即使手持式机也能实现高精度测量
· 即使是成形样品，也可实现无损测量
规格

项目	优点	标准
类型	SM-100P	SM-100S
测量方法	反射光谱学（光学干涉仪）
测量薄膜厚度范围*1	0.1~100微米（单层） 1~100微米（多层）	1~50微米（单层）
多层支持	*多三层	一楼
测量重复性	2.1σ 0.01μm（氧化硅薄膜 1μm）
测量点状直径	Φ1mm或更小
数据输出格式	导出文本格式到 USB 存储器
主单位规模	约138（西）×198（D）×61（H）毫米 *包括突出部
重量	大约1.1公斤
运行时间	测量时4小时或更久
电源电压 / 功率	AC100-240V/35VA（交流适配器输入）
保护级别	IP30/IK06

*1 当样品折射率为1.6时

产品信息

特色

“便携式”，仅1.1公斤，轻便便携
“高精度测量与简易测量” 可测量至0.1微米的薄度，无需校准曲线
“兼容多层薄膜”——能够测量多达3层多层薄膜
“无损非接触式测量”允许测量而不损坏样品
“测量各种样品”——无论基材（玻璃还是塑料）都可以测量

1：可以带到现场的手持型

（1）小型光谱仪

（2）紧凑型白光源

（3）设备内置
计算机。之前分析是在电脑上进行的

分析
显示
运营

通过触摸面板启用！

（4）电池操作

（5）参考镜

（6）可更换探头

优点
你可以带它去以前无法到达的地方！

推理
光谱仪微型化、电池丑闻等

*场：商务旅行目的地
第二场：生产线
第三场：无法移动的东西

2：易于使用，任何人都能使用

优点
不需要*知识或操作培训！

理由（1）无需组装，开启即可立即使用
集合状态
理由（2）只需将探针放在样品上即可测量
很简单
理由（3）通过触摸面板直观操作

给自己准备一些设置！

3：即使是手持式机，也能实现高精度测量

优点
0.1微米增量的精确测量

推理
它采用光谱干涉法

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100P

原理测量基板上的膜层厚度

来自上方
的入射光会反射到薄膜表面
·穿过薄膜的光线会反射到基板或薄膜界面

此时

测量由
光程差引起的相位差引起的光学干涉现象

根据获得的反射光谱和折射率计算胶片厚度

4：具有形状的样品可以无损测量

优点
（1）能测量大样本
，（2）可无损测量
（3）能测量各种形状的样品

OTSUKA 大塚电子智能薄膜测厚仪 SM-100P

推理
因为这是一个需要用探针测量的测量，

即使它太大，装不下
传统桌面设备，也没关系。

没必要提起
不需要像捏或按住那样施加压力

优点
（1）能测量各种形状的样品
，（2）可以测量大型样品
，（3）可以测量无损样品

原因
你可以更换探针以匹配样品。
探针（1）：标准探针
用于平面样品
（例如）薄膜，简单形状
探针（2）：笔型探针选项
用于面积或形状狭窄的样品
（例如）薄膜，简单形状
探针（3）：非接触阶段选项
用于你不想接触的样本
（例如）湿膜、半导体晶圆