Keyence基恩士 CL-V050 传感器头

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Keyence基恩士 CL-V050 传感器头

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Keyence基恩士 CL-V050 传感器头Keyence基恩士 CL-V050 传感器头 核心规格参数基准距离：50mm标准量程：4mm；高精度量程：1.6mm线性度：标准模式 1.4μm / 高精度模式 1.3μm耐温：探头本体最高环境温度200℃，适配高温加热工位真空适配：内部无有机粘合剂，低放气，可用…

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Keyence基恩士 CL-V050 传感器头

Keyence基恩士 CL-V050 传感器头

 核心规格参数

  • 基准距离：50mm

  • 标准量程：±4mm；高精度量程：±1.6mm

  • 线性度：标准模式 ±1.4μm / 高精度模式 ±1.3μm

  • 耐温：探头本体最高环境温度200℃，适配高温加热工位

  • 真空适配：内部无有机粘合剂，低放气，可用于高真空腔体

  • 光路结构：90° 直角转向，支持 4 个方向光路调节，狭小腔体节省安装空间

  • 配套主机：CL-3000、CL-3050 总线控制器通用

  • 搭配要求：传感头 CL-V050 必须与光学单元 CL-V050N 成套配对出厂，不可交叉混用其他型号探头


3. 核心优势

  1. 直角转向省空间：光纤光路 90° 弯折，真空腔体、狭小治具、机器人狭小安装位轻松布置；

  2. 真空低析出设计：无有机胶，不会污染晶圆、光学镜片，半导体真空设备专用；

  3. 耐高温 200℃：对比常规 CL-L 系列（最高 50℃），可直接贴近高温工件、加热平台；

  4. 同轴共焦原理通用：继承 CL 系列优势，透明玻璃、镀膜、镜面金属、倾斜曲面稳定测厚 / 测高；

  5. 无缝联动视觉系统：搭配 CL-3050 总线控制器，通过 IO/EtherCAT 同步工业相机，完成视觉定位 + 高度尺寸复合检测。


4. 适用场景

半导体真空镀膜机晶圆厚度检测、真空腔体内部段差测量、高温玻璃盖板制程、锂电高温涂层检测、回流焊炉内高度监控、光学元件真空加工检测。