东京迪莱克dylec 粒子生成器 VSP-G1东京迪莱克dylec 粒子生成器 VSP-G1规格电源120-240伏外部尺寸底座尺寸:约 370 x 470 x 237 毫米重量底座单元 16 公斤,反应器组件 6 公斤,安装板 3 公斤载气进/出10毫米管(Swagelok接头)数据输出RS232C流速1 至 25 升/分钟…
东京迪莱克dylec 粒子生成器 VSP-G1
东京迪莱克dylec 粒子生成器 VSP-G1
| 电源 | 120-240伏 |
|---|---|
| 外部尺寸 | 底座尺寸:约 370 x 470 x 237 毫米 |
| 重量 | 底座单元 16 公斤, 反应器组件 6 公斤 ,安装板 3 公斤 |
| 载气进/出 | 10毫米管(Swagelok接头) |
| 数据输出 | RS232C |
| 流速 | 1 至 25 升/分钟(可根据要求提供更高流量) |
| 载气类型 | Ar 或 N2(作为惰性气体)、 O2 或 H2(建议纯度为 5.0 (99.999% 或更高) 用于颗粒氧化和还原)、 其他稀有气体(He、Ne、Xe、Kr)均不受支持。 |
| 生成的颗粒材料(电极) | 所有导电和半导体材料(参见产品目录第28-29页) |
| 一次粒径 | 1 至 20 纳米(取决于设置和电极材料) |
| 粒子生成量 | 0.01 至 100 毫克/小时(取决于物料) |
| 生成的颗粒物数量浓度 | 10⁸至 10¹¹个颗粒 /立方厘米(取决于材料) |