KOKUSAN科库森 脱水机 SPD-180

产品目录

KOKUSAN科库森 脱水机 SPD-180

KOKUSAN科库森 脱水机 SPD-180

KOKUSAN科库森 脱水机 SPD-180KOKUSAN科库森 脱水机 SPD-180特点和用途该设备作为半导体行业的晶圆干燥设备，拥有良好的应用记录。它利用离心力和气流通过超低损耗空气过滤器（ULPA过滤器）来清洁干燥工件。主要规格电源AC200V 3φ 50/60Hz 8A驱动空气0.3兆帕（3…

产品详情

Product Detail

KOKUSAN科库森   脱水机   SPD-180

KOKUSAN科库森   脱水机   SPD-180



特点和用途

该设备作为半导体行业的晶圆干燥设备，拥有良好的应用记录。
它利用离心力和气流通过超低损耗空气过滤器（ULPA过滤器）来清洁干燥工件。

主要规格

电源AC200V 3φ 50/60Hz 8A
驱动空气0.3兆帕（3千克/平方厘米）
最大处理量8英寸 x 25页纸盒 1个纸盒
ULPA过滤器是的
离子发生器是的
控制PLC/变频器
操作部触摸面板
注册操作规程的数量5种类型
转速3,500 转/分　
（5 英寸及以下），3,000 转/分（6 英寸及以上）
发动机变频电机
尺寸尺寸：652（宽）x 1135（深）x 1080（高）毫米；
盖子打开时高度：1352（高）毫米
重量110公斤

*我们还提供一系列其他可处理最大 8 英寸工件的机器，包括手动机器和自动机器。
除半导体应用外，如有其他应用需求，欢迎随时联系我们。