KASHIYAMA樫山工业 SDX600 干式真空泵

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KASHIYAMA樫山工业 SDX600 干式真空泵 KASHIYAMA樫山工业 SDX600 干式真空泵SD系列的特点过程耐性的继承与进化进一步的实现低功耗.世界上最小的翔脚却印SEMI/CE/NRTL支持各种规格新的外观设计继承过程容忍与追求进化强(工艺耐受性)除独特形状的竖式螺杆外，采用新型…

KASHIYAMA樫山工业 SDX600 干式真空泵

SD系列的特点

过程耐性的

继承与进化

进一步的

实现低功耗

.世界上最小的

翔脚却印

SEMI/CE/NRTL支持各种规格

新的外观设计

继承过程容忍与追求进化

强(工艺耐受性)

除独特形状的竖式螺杆外，采用新型加热系统进一步强化工艺耐受性;通过特殊材料实现高耐腐蚀性和丰富的温差变化，可广泛适配多种工艺。

小型(小型化)

在20000L/min级别下，相比本公司减少35%的占地面积

安全性(安全性)

符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计

型号*1		SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000*5	SDH6000*5
最大泵送速度 [L/min]2 6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
达到压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
供电电压（50/60Hz）		三相交流200~220V*7
N2流量 [SLM]		0~80						0~120
冷却水流量 [L/min]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗 [千瓦]*3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外部尺寸 [mm]*4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

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