KASHIYAMA樫山工业 MUP600E 干式真空泵

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KASHIYAMA樫山工业 MUP600E 干式真空泵KASHIYAMA樫山工业 MUP600E 干式真空泵系列特色进一步的实现低功耗化新的外观设计工艺耐受性的传承与进化SEMI/CE/NRTL支持各种规格世界最小级别的脚印增强工艺公差和节能工艺效率与节能)工艺耐性和节能性能进一步进化，在蚀刻等中…

KASHIYAMA樫山工业 MUP600E 干式真空泵

系列特色

进一步的

实现低功耗化

新的外观设计

工艺耐受性的传承与进化

SEMI/CE/NRTL支持各种规格

世界最小级别的

脚印

增强工艺公差和节能

工艺效率与节能)

工艺耐性和节能性能进一步进化，在蚀刻等中型工艺中实现全球第一的低功耗

小型(小型化)

在20000L/min级别下，相比本公司减少32%的脚印

安全性(安全性)

符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计(MUH不支持NRTL)

型号*1		MUP600E	MUP1200E	MUP1800E	MUH3000
最大泵送速度 [L/min]2 6		10,000	19,000	30,000	50,000
达到压力 [Pa] *2		0.5
供电电压（50/60Hz）		三相交流200~220V*5
N2流量 [SLM]		0~45			0~60
冷却水流量 [L/min]		2
功耗 [千瓦]*3		0.8	0.95	1.1	1.6
外部尺寸 [mm]*4	L	695		850	910
	W	285		380	420
	H	850		950	900

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