MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机

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MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机

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MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为55mm~100100mm和φ6英寸的基材。最大板块尺寸φ4英寸最大基底厚…

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MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机

MISAKA米卡萨 MA-20 脱水机

三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。
它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为5×5mm~100×100mm和φ6英寸的基材。

最大板块尺寸φ4英寸
最大基底厚度2毫米
最大遮罩尺寸5×5”
紫外线灯屋多镜式
照度>14mW/c㎡（405nm）
照度均匀性<±4.0%
曝光光源紫外线灯 500W
曝光波长宽带（G线、H线和I线路）
曝光计时器切换方法
0~999.9秒 计时器设置类型
1~9999 计数 累计光计数器类型
紫外线灯衰减校正函数标准装备
对齐范围双视场显微镜物镜间距 18~60mm
显微分辨率1.2微米（20×物镜）
对准间隙长度测量标准装备
联系方式软接触/硬接触
机械臂行程范围X/Y±5毫米 微动 1/8毫米
1转 θ：70° 微动 ±7°
Z：4毫米（气动驱动 1mm/粗距3毫米） 微动 0.16mm
交叉运动舞台移动范围X/Y±20毫米
电源AC100~110V 20A
公用事业空气：0.5MPa
用于掩膜级/显微镜驱动 N2：0.5MPa
用于充气 真空：-0.08MPa 用于掩膜和基板吸附
尺寸（毫米/含震动隔音表）1000W×1300H×800D
重量290公斤
振动消除平台标准装备