MISAKA米卡萨 MA-10B 掩膜对准器

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MISAKA米卡萨 MA-10B 掩膜对准器MISAKA米卡萨 MA-10B 掩膜对准器三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为55mm~100100mm和φ6英寸的基材。●机械臂级可移动50毫…

MISAKA米卡萨 MA-10B 掩膜对准器

三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。
它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为5×5mm~100×100mm和φ6英寸的基材。

●机械臂级可移动±50毫米便于对齐
和对齐 ●通过在活动部件
上配备传感器防止故障● 轻量化设计 *相比我们的MA-10
●配有抽屉板防止面罩掉落 *根据面罩玻璃
规格制造 ●兼容不规则尺寸板材 * 真空吸附样品阶段根据基底材料制备

最大板块尺寸			φ4英寸
最大基底厚度			2毫米
最大遮罩尺寸			5×5”
紫外线灯屋			准直器类型
照度			>8mW/c㎡（405nm处）
照度均匀性			<±8.5%
曝光光源			紫外线灯 250W
曝光波长			宽带（G线、H线和I线路）
有效辐照面			φ4英寸
曝光计时器			0~999.9秒计时器集合类型
紫外线灯衰减校正函数			不可安装
对齐范围			双视场显微镜物镜间距 18~60mm
显微分辨率			1.2微米物镜，20×
对准间隙长度测量			不可安装
联系方式			软接触/硬接触
运营部门			触摸面板
联锁机构			掩膜与晶圆吸附 Z轴下限位置示波器摆动上/下位置作手拉机位置
机械臂行程范围			X/Y±6.5毫米微动 0.025mm1 旋转 θ：50° 微动 ±5° Z：10mm 微动 0.025mm1 旋转
交叉运动舞台移动范围			X/Y±50mm
电源			AC100　50/60Hz　9A
公用事业			空气：0.5MPa 用于示波器摆动/舞台锁定 N2：0.5MPa用于硬接触真空：-0.08MPa用于面罩/基材吸附
尺寸（毫米）			750W×600H×650D
重量			90公斤
选项			专用震动隔离表、真空泵、三目镜管监测仪规格、

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