MISAKA米卡萨 MA-60F 掩膜对准器

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MISAKA米卡萨 MA-60F 掩膜对准器MISAKA米卡萨 MA-60F 掩膜对准器三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为55mm~100100mm和φ6英寸的基材。最大板块尺寸φ6英…

MISAKA米卡萨 MA-60F 掩膜对准器

三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。
它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为5×5mm~100×100mm和φ6英寸的基材。

最大板块尺寸			φ6英寸
最大基底厚度			2毫米
最大遮罩尺寸			7×7英寸
紫外线灯屋			积分器类型
照度			>18mW/c㎡（405nm）
照度均匀性			<±5.0%
曝光光源			紫外线灯 250W（可选500W规格）
曝光波长			宽带（G线、H线和I线路）
曝光计时器			切换方法 0~999.9秒计时器设置类型 1~9999 计数累计光计数器类型
紫外线灯衰减校正函数			标准装备
对齐范围			双视场显微镜物镜间距 18~60mm
显微分辨率			1.2微米（20×物镜）
对准间隙长度测量			标准装备
联系方式			软接触/硬接触
机械臂行程范围			X/Y±5毫米微移动1/8毫米旋转θ：70°微移动±7° X・Y±20毫米
交叉运动舞台移动范围			Z：4毫米（气动驱动1毫米/粗力移动3毫米），微移动0.16毫米
电源			AC100~110V 20A
公用事业			空气：0.5MPa 用于掩膜阶段 N2：0.5MPa 用于充气阶段真空：用于掩膜和基材吸附 '-0.08MPa
尺寸（毫米/含震动隔音表）			1130W×1650H×800D
重量			360公斤
振动消除平台			标准装备

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