MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器

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MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器

MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器

MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。最大板块尺寸φ6英寸最大基底厚度2毫米最大遮罩尺寸77英寸紫外线灯屋积分器类型照度>18mW/c㎡（405nm）照度均匀性<5.0%曝光光源紫外线灯 2…

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MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器

MISAKA米卡萨 M-2LF 掩膜对准器

三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。

最大板块尺寸φ6英寸
最大基底厚度2毫米
最大遮罩尺寸7×7英寸
紫外线灯屋积分器类型
照度>18mW/c㎡（405nm）
照度均匀性<±5.0%
曝光光源紫外线灯 250W（可选500W规格）
曝光波长宽带（G线、H线和I线路）
曝光计时器0~999.9秒计时器集合类型
紫外线灯衰减校正函数不可安装
对齐范围双视场显微镜物镜间距 18~60mm
显微分辨率1.2微米（20×物镜）
对准间隙长度测量不可安装
联系方式软接触（硬接触/可选）
机械臂行程范围X/Y±5毫米分段移动 1/8毫米1旋转
θ：70°微运动±7°
Z：10毫米微动机 0.16毫米
交叉运动舞台移动范围选项
电源AC100~110V 20A
公用事业N2：0.5MPa，硬接触安装
真空值：-0.08MPa，用于口罩和基底吸附
尺寸（毫米/含震动隔音表）1000W×1680H×800D
重量280公斤
振动消除平台标准装备