MISAKA米卡萨 M-1S 掩膜对准器

产品目录

MISAKA米卡萨 M-1S 掩膜对准器

MISAKA米卡萨 M-1S 掩膜对准器

MISAKA米卡萨 M-1S 掩膜对准器MISAKA米卡萨 M-1S 掩膜对准器三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为55mm~100100mm和φ6英寸的基材。最大板块尺寸φ3英寸…

产品详情

Product Detail

MISAKA米卡萨  M-1S  掩膜对准器

MISAKA米卡萨  M-1S  掩膜对准器

三笠口罩对准器.com是一种手动接触式口罩对准器（曝光装置）。

它能处理多种材料，如不规则尺寸的基材、硅、玻璃、化合物和薄膜，并有多种型号兼容最大为5×5mm~100×100mm和φ6英寸的基材。

最大板块尺寸φ3英寸
最大基底厚度2毫米
最大遮罩尺寸4×4英寸
紫外线灯屋准直器类型
照度>8mW/c㎡（405nm处）
照度均匀性<±8.5%
曝光光源紫外线灯 250W
曝光波长宽带（G线、H线和I线路）
曝光计时器0~999.9秒计时器集合类型
紫外线灯衰减校正函数不可安装
对齐范围双筒立体显微镜（变焦型）
显微分辨率3.7微米（变焦比设为1×）
对准间隙长度测量不可安装
联系方式软接触（硬接触/可选）
机械臂行程范围X/Y±5毫米微震 1/8毫米1旋转
θ：70° 微震 ±7°
Z：3毫米 微震 0.16毫米
交叉运动舞台移动范围不可安装
电源AC100~110V 20A
公用事业N2：硬接触连接时0.5MPa
;真空：-0.08MPa用于掩膜和基材吸附
尺寸（毫米）800W×730H×500D
重量100公斤
振动消除平台选项