Flange 端面修正可是半导体切割设备（DFD-6361）的关键保养步骤！端面精度直接影响刀片安装垂直度、切割质量，稍不注意就会导致崩边、切偏～ 这份超全攻略，

从把准备工作、参数设置、实操流程拆得明明白白，还有避坑要点，不管是新手入门还是老手查缺补漏，收藏起来直接用！

一、先搞懂：Flange 端面修正的核心作用

Flange（法兰）是设备主轴与刀片连接的关键部件，长期使用后端面易磨损、不平整，修正的核心目的：

保证刀片安装精度，避免切割时刀片倾斜；

减少晶圆崩边、切偏等缺陷，提升良率；

延长主轴和刀片使用寿命，降低设备维护成本。

一句话：Flange 修正不到位，后续切割全白费！

二、前期准备：物品 + 设备检查（缺一不可）

1. 必备物品清单



2. 关键检查点

研磨片露出量控制在 1.5-3mm（过短打磨无效，过长易断裂）；

设备无报警（重点检查 Z 轴、X 轴伺服状态，无漏水、真空异常）；

Chuck table（工作台）清洁无异物，避免影响安装精度。





三、核心实操：3 大步骤 + 参数表（收藏级干货）

步骤 1：更换 Chuck Table（工作台）

进入设备菜单【工程→维修（6.0）→更换 chuck table（6.1）】；

根据当前框架尺寸（如 F3/F4）更换对应新尺寸工作台（如 2-8 NEW）；

操作上臂、下臂移动（前→后），取下旧工作台，安装新工作台；

完成框架对中调整，调准测高，按【ENTER】确认。

步骤 2：整面研磨参数设置（关键！直接影响修正精度）

进入菜单【工程→维修（7.0）→整面研磨（7.1）】，按以下参数设置（默认单位已标注）：


划重点：软刀对应 “FLANGE” 模式，硬刀对应 “MOUNT” 模式，按刀片类型切换！

步骤 3：实操研磨流程（按顺序来，不踩坑）

将 X 轴移至 SPINDLE（主轴）下方，把修正治具放在 Adjust table 上；

主轴低速移动，用 Flange 端面 “平推” 修正治具，确保端面与研磨片完全贴齐（避免局部打磨不均）；





确认贴齐后，按下【工作台真空】，固定治具（真空未开启严禁启动研磨）；

下降 Z 轴，使研磨片略高于 Flange 端面（避免直接撞击）；

核对参数无误后，按【START】启动研磨；

研磨完成后，待修正治具完全离开 Adjust table，再按【EXIT】退出，禁止中途按 “离开键”（无防呆，易撞机）。

四、避坑要点（90% 新手会踩！）

研磨片露出量必须在 1.5-3mm，超出范围会导致打磨精度差或治具损坏；

修正治具未离开 Adjust table 时，绝对不能按 “离开键”，X 轴回原点会撞击治具和主轴；

真空开启时机：必须等 Flange 端面与研磨片贴齐后再开，防止治具移位；

参数不能乱改：尤其是主轴转速、进刀速度，过快易导致端面发热变形；

研磨后检查：用平整仪确认 Flange 端面平整度，不合格需重新打磨（总次数可适当增加）。

五、注意事项（安全 + 精度双保障）

操作前穿戴防护装备（手套、护目镜），避免研磨粉尘飞溅；

设备运行中禁止触碰主轴、治具等运动部件，防止夹伤；

研磨完成后清洁设备：清理研磨粉尘，检查 Adjust table 是否水平；

定期校准治具：确保治具本身平整度，避免 “以不平整治具修正不平整端面”。