做半导体划片的朋友都懂，DISCO DAD3350半自动切割机是车间里的“主力机型”，但它操作步骤多、参数要求严——开机少等一步预热、

切割参数错一个小数点，轻则导致样品报废，重则损伤刀片、影响设备寿命。

很多新手刚上手时，对着厚厚一本操作规范犯愁，找不到核心重点；老员工偶尔也会因疏忽踩坑。今天就把这份DAD3350操作规范扒透，

只留能直接落地的实操干货：从开机准备、核心切割流程，到关机收尾、安全避坑，每一步都讲得明明白白，新手照抄就能操作，老员工可直接收藏复盘！

一、先搞懂基础：工作原理+核心部件，操作不慌

先花2分钟搞懂基础，后续操作才不会乱：

• 核心工作原理：主轴带动刀片高速旋转（30000r/min），对硅片、陶瓷、玻璃等样品进行直线切割；切割时通高纯度切割水冷却，通过X、Y、Z、θ四轴控制切割方向和高度——X轴负责样品水平传递，θ轴控制样品旋转角度，Y轴控制进刀方向，Z轴调节切割高度，配合触摸液晶显示屏和图像识别系统，精准控制切割质量。

• 关键附属设备：配套DWR1720水循环系统，负责提供高纯度恒温切割水，这是保证切割质量的关键，后续开机第一步就要检查它。

• 必认核心部件：信号塔、紧急制动开关（EMO，紧急情况必用）、LCD触摸屏（操作核心）、冷却水/压缩空气开关、流量计、样品腔门等，位置记熟，操作时不用反复找。

划重点：设备最大加工尺寸是Ø8英寸及以下不规则样品（最小Ø2mm），目前配置的刀片适配硅片、玻璃、石英；若要切割其他材料，一定要先找工艺工程师确认，别盲目上机！

工作原理

二、开机全流程：提前30分钟准备，8步走稳不踩坑

DAD3350开机后需要预热，全程约30分钟，一定要提前安排时间！按这8步操作，确保设备正常启动：

预热期间可以准备样品：把待切割样品贴膜，确保样品在框架正中心，背面完全无气泡（有气泡会导致切割不平整，影响高度控制），提前准备好能节省时间。

三、核心切割流程：9步精准操作，参数和校准是关键

切割是核心环节，参数设置和手动校准直接影响切割质量，按这9步规范操作：

1. 开排风开关：找到DAD3350机柜背面墙上的排风开关，按“开”，此时红色排风指示灯亮起（绿色电源指示灯平时一直亮，不用管）。

   

2. 检查水循环电源：确认DWR1720背面的黑色电源开关在ON档位（平时关机不关闭，防止漏水无法报警）。

3. 启动水循环系统（DWR1720）：先开机柜背面的压缩空气开关；再开两个冷却水开关，记住“先开out，再开IN”；最后打开自来水开关（顺时针开，逆时针关）。

4. 检查切割机电源：确认DAD3350机柜背面的黑色电源开关在ON档位（平时不关闭，靠UPS供电防断电）。

1. 开启水循环LED屏：把钥匙旋转到ON，再转到START停留1秒以上，指示灯亮起后松开（钥匙会自动回ON档）；点击显示屏右下角START，设备开始运转，等待15分钟CLEAN完成（保证切割水纯度）。避坑提醒：别乱点显示屏其他开关、不改任何参数，否则设备可能无法正常运行！

2. 系统初始化：在0.0主界面点击“系统初始化”，等待设备自动复位完成。

1. 开启切割机LED屏：找到LED POWER开关，按要求打开，等待系统启动（耐心等，别反复按）。

   

2. 刀片预热（WARM UP）：15分钟水循环CLEAN完成后，在0.0界面点击“主轴电机”开启，等转速达到30000r/min后，再开“切割水”，

3. 让刀片预热15分钟；完成后关闭主轴电机和切割水。

四、关机流程：6步规范收尾，避免设备故障

切割完成后别图省事乱关机，按这6步操作，保护设备寿命：

1. 刀片测高：进入4.3界面，按F4做“敏感器校准测高”（刚开机、换新刀时必做）；若同一把刀连续切割，做F3“非接触式测高”即可。

   点击START等待完成，再按EXIT退回0.0主界面。避坑提醒：每次切割前都要测高，刀片磨损会导致高度变化，不测高易出现切深不够或切透贴膜的问题。

   

2. 选择/创建切割文件：进入3.0界面，选择现有文件拷贝修改，或创建新文件，按ENTER进入参数修改界面。

   

3. 放置样品并固定：把贴好膜的样品和框架放到切割台上，对准框架两个缺角和切割台的两个螺钉（精准定位）；关闭样品腔门，

   在0.0界面点击“C/T真空”，确认真空值在-89左右（高于此值立即停止，通知工程师），确保样品吸附牢固。

4. 手动校准（保证切割精准）：进入2.0界面→F4半自动切割（2.4界面）→F4手动校准（2.4.4界面）：①找划片槽：点击图像区域找到目标位置，

   按F4、F9调基准线宽度，与划片槽一致；②调基准线位置：用SCAN方向键把基准线对准划片槽中心，

   最后一下务必点向上的按钮；③θ角校正：按F5切换到另一侧，重复调基准线，再按F5返回；④反复操作，直到切换F5后基准线不偏移。

1. 编辑切割参数（重点！）：在3.1.2界面设置关键参数，每个参数设完后点击ENTER保存，其余参数别乱改（易导致碎刀）：

   ①尺寸：原始尺寸加30mm余量（防碎刀，贴片偏移时也能覆盖）；②晶片厚度：精确到0.001mm，提前测好；

   ③膜片厚度：已知参数，精准输入；④CH1/CH2刀片高度：剩余高度≥0.06mm（防切透贴膜损坏样品台）；

   ⑤进刀速度：按工艺要求设置，硬样品宜慢，先问工艺工程师；⑥Y轴移动量：每刀间隔量，按需求设置。

   

2. 切割过程监控：系统会自动检查刀痕宽度、测高，出现报警立即停止，通知设备/工艺工程师处理（别擅自复位）。

   重点关注报警参数：刀痕点数＜60%、刀痕宽度超上下限、偏离中心线＞0.010mm、崩碎尺寸＞0.050mm、崩碎面积＞500pixel，都会触发报警。

1. 设置切割位置和刀数：校准完成按ENTER退回2.4界面，调整基准线到切割位置，设置切割刀数，选择向后/向前切割保存参数，点击START开始自动切割。

2. 连续切割：若需继续切割，重复步骤1-8即可。

3. 切割完成后操作：系统报警停止后，点击“解除/警报”，按EXIT退回0.0界面；关闭C/T真空，打开样品腔，

   用气枪吹干样品和样品台表面的水（防止杂质堵塞陶瓷表面），再取出样品。

五、安全注意事项+应急处理：8个红线别碰，出问题找对人

操作设备安全第一，这8个红线别碰，应急处理流程记牢：

1. 系统初始化：关闭样品腔门，在0.0界面点击“系统初始化”，等待设备复位完成。

   

1. 关闭水循环系统：点击DWR1720显示屏上的STOP按钮（按两次），等待设备和泵停止运行（约1-2分钟）；把LED屏钥匙转到OFF档（长期关机需关闭背面黑色电源开关）。

2. 关闭切割机LED屏：把DAD3350的LED屏POWER钥匙转到OFF档（长期关机需额外关闭机柜背面黑色电源开关、UPS电源开关）。

3. 关闭排风：按下DAD3350机柜背面墙上的“排风关”按钮，红色指示灯熄灭。

4. 关闭各类阀门：先关DWR1720背面的压缩空气开关；再关冷却水开关（先关IN，再关out）；最后关闭自来水开关。

5. 现场整理：清理样品台残留水渍和杂质，整理工具，确保现场整洁。

除了安装和应急，日常操作中的安全细节也不能忽视，总结了5个高频注意事项：

• 操作前必须检查安全标签、外罩、联锁机构是否完好，确认无误后再开机；

• 严禁擅自改参数：DWR1720水循环系统、切割机的参数都是调试好的，乱改会导致设备无法运行。

• 操作时穿戴合适的防护装备，禁止穿宽松衣物、戴首饰，长发要扎起，避免被旋转部件卷入；

• 切割时别开盖：设备运行时，禁止打开样品盖和防水盖，防止高速旋转的刀片伤人或水渍飞溅。

• 换刀必须找工程师：换刀操作只能由设备工程师执行，操作员别擅自尝试，避免危险。

• 自来水开关必关：实验结束必须关闭水循环系统的自来水开关，防止跑水。

• 参数精准是关键：尺寸、厚度等参数要精确到0.001mm，提前测好，否则易出现碎刀、样品报废。

• 报警别擅自处理：除了切割完成的正常报警，其他报警都要通知设备/工艺工程师，别盲目复位。

• 紧急情况用EMO：遇到人员卷入、设备异常等紧急情况，立即按下紧急制动开关（EMO），设备会瞬间停机。

• 系统程序别乱动：不准修改计算机系统程序、辅助文件和他人子目录，不准随意拆卸设备零件。

• 设备运行时，禁止打开防溅罩和其他外罩，禁止触碰高速旋转部件和高压区域；

• 维修或调整设备时，必须先关闭电源和气源，等待设备完全停机后再操作；

• 定期检查管路和线路是否有老化、泄漏情况，发现问题及时上报处理。

最后：用好DAD3350，核心就3个关键词

其实DAD3350不算“难伺候”，核心就是“守流程、准参数、重安全”。很多人踩坑，都是因为图省事省略步骤——比如不做预热、

测高敷衍、参数估摸着填，最后导致样品报废、设备受损。